福建金石能源有限公司杨与胜获国家专利权
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龙图腾网获悉福建金石能源有限公司申请的专利一种适用于镀多种膜层的高产能PECVD系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223316783U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422705091.0，技术领域涉及：C23C16/54；该实用新型一种适用于镀多种膜层的高产能PECVD系统是由杨与胜;刘义军;郭礼贤设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于镀多种膜层的高产能PECVD系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光伏设备领域，公开了一种适用于镀多种膜层的高产能PECVD系统，PECVD系统包括依次通过门阀连接的进片预热腔、一站式镀膜模组和冷却出片腔。进片预热腔包括进出片堆栈腔和加热板，所述冷却出片腔包括进出片堆栈腔和冷却板。一站式镀膜模组包括隔离腔和若干用于镀不同膜层的工艺腔，隔离腔通过门阀设置于两种相邻工艺腔之间；每种工艺腔包括若干个相通且能独立工作的沉积腔。进出片堆栈腔和隔离腔内均设置有堆栈升降机构。本实用新型不仅能够缩短产线长度，节约设备、占地成本，而且还能提高产能效率。
本实用新型一种适用于镀多种膜层的高产能PECVD系统在权利要求书中公布了：1.一种适用于镀多种膜层的高产能PECVD系统，其特征在于：包括依次通过门阀连接的进片预热腔、一站式镀膜模组和冷却出片腔； 所述进片预热腔包括进出片堆栈腔和加热板，所述冷却出片腔包括进出片堆栈腔和冷却板； 所述一站式镀膜模组包括隔离腔和若干用于镀不同膜层的工艺腔，隔离腔通过门阀设置于两种相邻工艺腔之间；每种工艺腔包括若干个相通且能独立工作的沉积腔； 所述进出片堆栈腔和隔离腔内均设置有堆栈升降机构。
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