安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司王刚获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种具有磁性自调节功能的晶圆快排槽获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119500719B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411682222.6，技术领域涉及：B08B11/00；该发明授权一种具有磁性自调节功能的晶圆快排槽是由王刚;邵毅;冯校亮设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有磁性自调节功能的晶圆快排槽在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有磁性自调节功能的晶圆快排槽，涉及晶圆清洗技术领域。包括内腔底部安装有氮气曝气管的晶圆快排槽，所述晶圆快排槽上设置有喷淋管和用于对槽内去离子水进行电阻率检测的检测单元，所述晶圆快排槽靠近所述检测单元一侧的外壁上设置有磁体，所述磁体设置为电磁铁，还包括安装在所述晶圆快排槽上的自动调磁单元，根据所述晶圆快排槽内去离子水的温度变化自动调节所述磁体的磁性大小，以满足利用磁场驱离氮气泡的要求。性通过设置的自动调磁单元，根据晶圆快排槽内去离子水的温度变化自动调节磁体的磁性大小，以满足利用磁场驱离氮气泡的要求。
本发明授权一种具有磁性自调节功能的晶圆快排槽在权利要求书中公布了：1.一种具有磁性自调节功能的晶圆快排槽，包括内腔底部安装有氮气曝气管（2）的晶圆快排槽（1），所述晶圆快排槽（1）上设置有喷淋管（4）和用于对槽内去离子水进行电阻率检测的检测单元（5），所述晶圆快排槽（1）靠近所述检测单元（5）一侧的外壁上设置有磁体（3），其特征在于；所述磁体（3）设置为电磁铁，还包括安装在所述晶圆快排槽（1）上的自动调磁单元（6），根据所述晶圆快排槽（1）内去离子水的温度变化自动调节所述磁体（3）的磁性大小，以满足利用磁场驱离氮气泡的要求。
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