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龙图腾网获悉安徽大学申请的专利一种超高真空用外驱动机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119479770B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411869725.4，技术领域涉及：G12B5/00；该发明授权一种超高真空用外驱动机构是由陈思跃;王晨设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种超高真空用外驱动机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种超高真空用外驱动机构，包括真空室组件以及通过连接组件连接在真空室组件外的驱动组件。所述驱动组件能实现被驱动件的大行程移动和亚微米量级精度的的复位。所述驱动组件输出端连接有被驱动件，所述被驱动件能够伸入所述真空室组件内。本发明中，通过将驱动机构设计在超高真空外，使用波纹管连接以及刀口密封不仅可以避免驱动机构对超高真空的污染，还可以实现对被驱动件的灵活驱动，同时驱动组件直接安装于真空室组件上消除了驱动件因独立支撑产生的误差。通过螺栓调节组件的设置，能够将实现驱动组件带动被驱动件相对真空室组件的移动或转动，从而适配被动驱动件的实际方位要求。

本发明授权一种超高真空用外驱动机构在权利要求书中公布了：1.一种超高真空用外驱动机构，其特征在于，包括真空室组件（1）、靶标球（7）、固定于真空室组件（1）法兰上的固定底板（2）以及通过调节组件连接在真空室组件（1）外的驱动组件（5），所述驱动组件（5）的输出端连接有被驱动件，所述被驱动件能够伸入所述真空室组件（1）内，所述驱动组件（5）能够通过焊接波纹管（509）与真空室组件（1）耦合；所述调节组件包括垂直调节螺钉组（3）和横向水平调节组（4）；所述垂直调节螺钉组（3）能够驱动组件（5）Z方向位移、绕X轴转动；所述横向水平调节组（4）能够驱动驱动组件（5）相对真空室组件（1）的X方向移动和绕Y轴、Z轴转动；所述驱动组件（5）用于被驱动件撤出工作位置或返回至工作位置；所述靶标球（7）固定在驱动组件（5）上且位于真空室外，测量靶标球（7）中心位置能够得到被驱动件的位置；所述驱动组件（5）安装在真空室组件（1）的安装法兰（12）上；所述驱动组件（5）包括调节底板（501）、位移平台底座（502）、精密位移平台（503）、联轴器（504）、步进马达（505）、位移板（506）、传动轴（507）、刀口法兰（508）、焊接波纹管（509）；所述位移平台底座（502）用螺钉固定安装于调节底板（501）上，所述精密位移平台（503）安装于位移平台底座（502）上，所述精密位移平台（503）的两个移动滑块固定连接有位移板（506），所述位移板（506）通过传动轴（507）与被驱动件相连，所述步进马达（505）安装于精密位移平台（503）的末端，所述步进马达（505）的输出轴通过联轴器（504）与精密位移平台（503）的丝杠输入轴传动连接，所述刀口法兰（508）与焊接波纹管（509）一端密封焊接，所述焊接波纹管（509）另一端与传动轴（507）的末端密封焊接。

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