苏州戴丰技术有限公司何志刚获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州戴丰技术有限公司申请的专利一种方形基板真空润湿装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223316600U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423246454.5,技术领域涉及:C03C17/00;该实用新型一种方形基板真空润湿装置是由何志刚;李梦夫;刘建新;薛宽宽设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种方形基板真空润湿装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种方形基板真空润湿装置,包括主箱体、上盖板、循环喷淋泵和抽真空单元。主箱体上端开口,主箱体内设有竖向设置的隔板,隔板将主箱体内部空间分隔为喷淋池和溢流池,喷淋池的中部设有挂具安装架,两侧分别设有一个喷淋管单元;抽真空单元用于对上盖板和主箱体之间形成的密闭空间抽取真空。在负压作用下,基板微孔内的气泡能顺利转移至微孔的口部,方形基板两侧喷淋管单元的喷淋孔朝上,能在基板两面产生自下向上的液流,液流的推动力能将积存在基板微孔口部的气泡顺利带出微孔并随液流向上排出,能显著减少或避免方形基板两表面微结构内残留气穴,显著提升润湿效果,确保基板后续电镀品质。
本实用新型一种方形基板真空润湿装置在权利要求书中公布了:1.一种方形基板真空润湿装置,其特征在于,包括: 主箱体,其上端开口,所述主箱体内设有竖向设置的隔板,所述隔板将主箱体内部空间分隔为喷淋池和溢流池,所述喷淋池的中部设有用于竖直放置挂具的挂具安装架,待润湿方形基板安装在挂具上,在所述挂具安装架的两侧分别设有1个喷淋管单元,每个所述喷淋管单元都包括喷淋入口管和与所述喷淋入口管连通的多个喷淋管,每个所述喷淋管上设有多个间隔分布的喷淋孔,所述喷淋孔斜向上朝向待润湿基板; 上盖板,其可开闭地安装于所述主箱体上端开口处; 循环喷淋泵,其用于将所述溢流池内的喷淋水泵出至所述喷淋管单元; 抽真空单元,其用于对所述上盖板和主箱体之间形成的密闭空间抽取真空。
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