深圳市道格特科技有限公司刘志华获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市道格特科技有限公司申请的专利一种探针卡获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120275689B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510758348.5,技术领域涉及:G01R1/073;该发明授权一种探针卡是由刘志华;张华;刘久源设计研发完成,并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种探针卡在说明书摘要公布了:本申请涉及一种新型结构的探针卡,涉及半导体测试设备的技术领域,探针卡包括安装支架,安装支架上设置有PCB板,PCB板沿自身厚度方向一侧设置有中间介质板;中间介质板背离PCB板的一侧设置有若干探针单元,探针单元、中间介质板和PCB板依次电性连接;若干探针单元相互拼接形成检测板,检测板适配待测晶圆。本申请具有降低探针卡的制造成本以及晶圆检测成本的效果。
本发明授权一种探针卡在权利要求书中公布了:1.一种探针卡,其特征在于,包括:安装支架(1),所述安装支架(1)上设置有PCB板(2),所述PCB板(2)沿自身厚度方向一侧设置有中间介质板(3);所述中间介质板(3)背离所述PCB板(2)的一侧设置有若干探针单元(4),所述探针单元(4)、所述中间介质板(3)和所述PCB板(2)依次电性连接;若干所述探针单元(4)相互拼接形成检测板(5),所述检测板(5)适配待测晶圆; 还包括调平机构,所述调平机构包括若干调平驱动器(6),若干所述调平驱动器(6)均设置在所述安装支架(1)上; 还包括拼接架(8),所述拼接架(8)位于所述中间介质板(3)与所述探针单元(4)之间,若干所述调平驱动器(6)的驱动端均与所述拼接架(8)连接,若干所述探针单元(4)均与所述拼接架(8)可拆卸连接; 所述拼接架(8)背离所述中间介质板(3)的一侧开设有若干定位槽(81),所述定位槽(81)与所述探针单元(4)一一对应设置,所述探针单元(4)与所述定位槽(81)插接配合; 所述定位槽(81)贯穿所述拼接架(8),所述拼接架(8)上设置有若干中间板(82),所述中间板(82)与所述定位槽(81)一一对应设置,所述中间板(82)与对应所述定位槽(81)插接配合;所述中间板(82)位于对应所述探针单元(4)和所述中间介质板(3)之间,并且所述中间介质板(3)和对应所述探针单元(4)均与所述中间板(82)抵触,所述中间板(82)上设置有触点组(84),所述探针单元(4)、对应触点组(84)和中间介质板(3)依次电性连接; 所述触点组(84)包括若干导电长杆(841),所述导电长杆(841)嵌设在对应所述中间板(82)内,所述导电长杆(841)长度方向沿所述拼接架(8)的厚度方向设置,所述导电长杆(841)朝向对应所述探针单元(4)的一端设置有第一弹性触点(842),另一端设置有第二弹性触点(843),所述第一弹性触点(842)与对应所述探针单元(4)抵触,所述第二弹性触点(843)与所述中间介质板(3)抵触。
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