浙江晟霖益嘉科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利一种高温反应设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120393923B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510888874.3，技术领域涉及：B01J19/24；该发明授权一种高温反应设备是由请求不公布姓名;贺忻;王保;王慧锋;徐钧设计研发完成，并于2025-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高温反应设备在说明书摘要公布了：本发明公开了高温反应设备，包括：反应腔体；基座，基座设置在反应腔体的底部用于承载基片，基座包括沿径向靠近反应腔体侧壁依次设置的中心区、基盘区和边缘区；至少一个第一隔热板，在反应腔体的顶部表面设置有第一隔热板，挡板，挡板与基座相对，第一隔热板设置在挡板背离基座的一侧，第一隔热板与挡板之间具有气流间隙，第一隔热板包括多个子隔热板，与基盘区对应的子隔热板的综合导热率大于与中心区和边缘区对应的子隔热板的综合导热率。
本发明授权一种高温反应设备在权利要求书中公布了：1.一种高温反应设备，其特征在于，所述高温反应设备（1）包括： 反应腔体（3）； 基座（8），所述基座（8）设置在所述反应腔体（3）的底部用于承载基片，所述基座（8）包括沿径向靠近所述反应腔体的侧壁依次设置的中心区（81）、基盘区（80）和边缘区； 至少一个第一隔热板（5），在所述反应腔体（3）的顶部表面设置有所述第一隔热板（5）， 挡板（6），所述挡板（6）与所述基座相对，所述第一隔热板（5）设置在所述挡板（6）背离所述基座的一侧，所述第一隔热板（5）与所述挡板（6）之间具有气流间隙，所述第一隔热板（5）包括多个子隔热板（50），与所述基盘区（80）对应的所述子隔热板的综合导热率大于与所述中心区（81）和所述边缘区对应的所述子隔热板的综合导热率，其中， 所述子隔热板（50）的综合导热率满足如下公式： keff=（t1*k1t3）+（t2*k2t3） 其中，keff为综合导热率，t1为所述子隔热板的厚度，k1为所述子隔热板的导热率，t2为所述气流间隙的厚度，k2为所述气流间隙中的气流导热率，t3为所述子隔热板和所述气流间隙的总厚度。
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