合肥中聚和成光电材料股份有限公司吴际峰获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥中聚和成光电材料股份有限公司申请的专利一种高稳定长寿命的铜钛蚀刻液及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120400842B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510919100.2,技术领域涉及:C23F1/18;该发明授权一种高稳定长寿命的铜钛蚀刻液及其制备方法与应用是由吴际峰;王锁;陈正燃;王维康;何烨谦;黄德新;龚升设计研发完成,并于2025-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高稳定长寿命的铜钛蚀刻液及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明属于蚀刻液技术领域,具体涉及一种高稳定长寿命的铜钛蚀刻液及其制备方法与应用。铜钛蚀刻液以过硫酸盐、有机酸、磺化环糊精、含硫酸氢盐的酸性离子液体、氟化合物、多元醇和水为原料混合获得。铜钛蚀刻液中各成分共同作用,使蚀刻液均匀刻蚀,减少局部过蚀或残留,适用于CuTi叠层的精密蚀刻,本发明提供的铜钛蚀刻液具有高稳定性、长寿命的优势,且环境友好、工艺适应性强,适用于精密电子器件加工,有效降低生产成本。
本发明授权一种高稳定长寿命的铜钛蚀刻液及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种高稳定长寿命的铜钛蚀刻液,其特征在于,按照质量百分比计,包括:过硫酸盐5-15%、有机酸3-15%、磺化环糊精0.5-3%、含硫酸氢盐的酸性离子液体0.1-4%、氟化合物0.05-1%、多元醇0.01-2%,余量为水。
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