旭化成株式会社内藤一也获国家专利权
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龙图腾网获悉旭化成株式会社申请的专利感光性树脂组合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114296315B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111430178.6,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权感光性树脂组合物是由内藤一也;山田有里;小坂隼也设计研发完成,并于2016-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性树脂组合物在说明书摘要公布了:一种感光性树脂组合物,其特征在于,含有碱溶性高分子、具有烯属双键的化合物、以及光聚合引发剂,在层叠有18μm厚度的铜箔的覆铜层叠板上以25μm厚度层叠由前述感光性树脂组合物形成的感光性树脂层,经过线间隔=50μm30μm的图案状的光照射和显影处理而形成固化抗蚀图案,在50℃下实施55秒的铜蚀刻处理后,去除前述固化抗蚀图案而得到的铜线图案的底部宽度为38μm以上。
本发明授权感光性树脂组合物在权利要求书中公布了:1.一种感光性树脂组合物,其包含: A碱溶性高分子; B含烯属不饱和键化合物;以及 C光聚合引发剂; 所述A碱溶性高分子包含酸单体单元的含有比例为10质量%以上且不足25质量%且芳香族单体单元的含有比例为30质量%~60质量%的第一共聚物, 所述A碱溶性高分子包含芳香族单体单元的含有比例为45质量%~90质量%的第二共聚物,并且, 所述B含烯属不饱和键化合物的重均分子量为50~900, 所述C光聚合引发剂包含吖啶化合物, 所述C光聚合引发剂还包含N-芳基氨基酸, 所述感光性树脂组合物中的所述吖啶化合物的含量为0.1质量%以上且2.0质量%以下。
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