东京毅力科创株式会社冈泽智树获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利液处理装置和液处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111863658B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010305082.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权液处理装置和液处理方法是由冈泽智树;西山雄太;飞松武志设计研发完成，并于2020-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本液处理装置和液处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种液处理装置和液处理方法，对于利用从喷嘴喷出的处理液进行的液处理的面内均匀性有效。液处理装置具备：处理液供给部，其具有喷出处理液的喷嘴；喷嘴移动部，其使所述喷嘴在用于朝向基板的表面供给所述处理液的涂布位置和与所述涂布位置不同的待机位置之间移动；清洗部，其朝向所述待机位置供给清洗液，以通过所述清洗液对位于所述待机位置的所述喷嘴的顶端面进行清洗；吸引部，其具有朝向位于所述待机位置的所述喷嘴的顶端面开口的吸引口，所述吸引部吸引从位于所述待机位置的所述喷嘴喷出的所述处理液以及通过所述清洗部供给到所述待机位置的所述清洗液；以及控制装置，其控制所述处理液供给部、所述喷嘴移动部、所述吸引部及所述清洗部。
本发明授权液处理装置和液处理方法在权利要求书中公布了：1.一种液处理装置，其特征在于，具备： 处理液供给部，其具有喷出处理液的喷嘴； 喷嘴移动部，其使所述喷嘴在用于朝向基板的表面供给所述处理液的涂布位置和与所述涂布位置不同的待机位置之间移动； 清洗部，其朝向所述待机位置供给清洗液，以通过所述清洗液对位于所述待机位置的所述喷嘴的顶端面进行清洗； 吸引部，其具有朝向位于所述待机位置的所述喷嘴的顶端面开口的吸引口，所述吸引部吸引从位于所述待机位置的所述喷嘴喷出的所述处理液以及通过所述清洗部供给到所述待机位置的所述清洗液；以及 控制装置，其控制所述处理液供给部、所述喷嘴移动部、所述吸引部及所述清洗部， 其中，所述清洗部具有：清洗槽，其设置于所述待机位置， 所述吸引部还具有吸引头，该吸引头相对于所述清洗槽的底壁突出， 所述吸引口在所述吸引头的上表面开口。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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