科美科技株式会社闵庚勋获国家专利权
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龙图腾网获悉科美科技株式会社申请的专利晶片棱角缺陷检查装置和检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115088060B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080096090.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权晶片棱角缺陷检查装置和检查方法是由闵庚勋设计研发完成，并于2020-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片棱角缺陷检查装置和检查方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种能够准确地检查晶片的棱角缺陷的晶片棱角缺陷检查装置和检查方法，具体地，包括：板材形状的晶片，固定晶片的夹持部以及检测晶片棱角的缺陷的边缘检测部。
本发明授权晶片棱角缺陷检查装置和检查方法在权利要求书中公布了：1.一种晶片棱角缺陷检查装置，该装置包括： 板材形状的晶片（100）； 晶片夹持部（200），其固定所述晶片（100）；以及 边缘检测部（300），其检测所述晶片棱角（110）的缺陷， 所述晶片夹持部（200）包括：接触体（210），其形成有多个，与所述晶片（100）的面和或棱角接触； 支架紧固体（220），其通过驱动马达（240）旋转，并且同时旋转多个所述接触体（210）；以及 支架致动器（230），其在支架紧固体（220）上单独选择并旋转所述接触体（210）， 所述支架致动器（230）包括：支架操作凸轮（250），其与所述接触体（210）接触，通过所述边缘检测部（300）的干扰来操作。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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