深圳清华大学研究院;清华大学郑泉水获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳清华大学研究院;清华大学申请的专利一种石墨岛滑块阵列的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115003620B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080092510.X,技术领域涉及:B81B5/00;该发明授权一种石墨岛滑块阵列的制备方法是由郑泉水;姜海洋设计研发完成,并于2020-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨岛滑块阵列的制备方法在说明书摘要公布了:一种批量制备石墨岛滑块阵列的方法,该方法在制备石墨岛滑块阵列的过程中增加晶粒结构检测步骤,并通过控制后续的刻蚀步骤,使滑块内部有且仅有一个晶界面,当剪切这些滑块时,它们将从唯一的晶界面滑开。采用该方法制备的滑块阵列,具有统一的滑移面和高度,一致性好。
本发明授权一种石墨岛滑块阵列的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种石墨岛滑块阵列的制备方法,包括以下步骤, 步骤一:在高定向热解石墨上至少覆盖光刻胶; 步骤二:构图所述光刻胶,保留多个光刻胶岛; 步骤三:刻蚀所述高定向热解石墨,去除未被光刻胶保护的部分高定向热解石墨,形成多个岛状结构; 步骤四:去除残余的光刻胶,得到所述石墨岛滑块阵列; 其特征在于, 在步骤一之前,对高定向热解石墨表面附近的三维晶粒结构进行检测,得到石墨表面附近的多晶结构的晶粒信息; 步骤三中,基于上述检测的多晶结构的晶粒信息,控制所述刻蚀,使得刻蚀后的石墨岛滑块7仅包括一层水平晶界。
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