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应用材料公司徐永安获国家专利权

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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于确定多图案的线角度及旋转的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114981632B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080092811.2,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权用于确定多图案的线角度及旋转的方法是由徐永安;邢婵娟;傅晋欣;卢多维克·戈代设计研发完成,并于2020-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

用于确定多图案的线角度及旋转的方法在说明书摘要公布了:本文公开了用于确定光栅或线特征的线角度及线角度旋转的方法及设备。本公开内容的一个方面涉及,使用测量工具来测量第一线特征的坐标点,从所述坐标点确定所述第一线特征的第一斜率,及从所述第一线特征的所述斜率确定第一线角度。能重复此过程以找出相邻于所述第一线特征的第二线特征的第二斜率。能比较所述第一线特征与所述第二线特征的斜率来找出线角度旋转。所述线角度旋转与设计规格进行比较,来确定拼接品质。

本发明授权用于确定多图案的线角度及旋转的方法在权利要求书中公布了:1.一种确定在波导中并入的光栅结构的拼接品质的方法,所述方法包含下列步骤: 选择光栅结构的视野; 使用测量工具来识别线特征; 沿着所述线特征选择起点; 测量一级坐标,所述一级坐标包含第一x坐标及第一y坐标,其中所述第一x坐标是从所述视野的边缘到所述一级坐标的第一距离; 测量沿着所述线特征的至少一个二级坐标的坐标,所述二级坐标包含第二x坐标及第二y坐标,其中所述第二x坐标是从所述视野的所述边缘到所述二级坐标的第二距离; 使用所述一级坐标及所述二级坐标来估计理论线特征;及 计算在所述理论线特征与参考轴之间的线角度测量值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司,其通讯地址为:美国加利福尼亚州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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