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龙图腾网获悉日本株式会社日立高新技术科学申请的专利会聚离子束加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113436952B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110302101.4，技术领域涉及：H01J37/09；该发明授权会聚离子束加工装置是由大庭弘;杉山安彦;中川良知;永原幸儿设计研发完成，并于2021-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本会聚离子束加工装置在说明书摘要公布了：提供在利用会聚离子束进行截面加工时改善截面形状、并且提高作业效率的会聚离子束加工装置。会聚离子束加工装置100具有离子源21、保持试样200的试样载台50、会聚透镜22、具有一边24t呈直线状的狭缝24s的光圈24、以及配置于光圈与试样台之间的射束路径的投射透镜28，在试样加工出截面，在通过柯拉照明法使会聚离子束20A聚焦于投射透镜的主平面时会聚透镜的施加电压为规定电压的情况下，将施加电压设定为小于该规定电压且为该规定电压的80％以上，设定光圈的位置，以使所述光圈在如下状态下遮挡该会聚离子束，该状态是，所述光圈的所述一边距所述会聚离子束的中心的距离大于0μm且为500μm以下的状态，构成将狭缝的形状转印到试样的转印模式。

本发明授权会聚离子束加工装置在权利要求书中公布了：1.一种会聚离子束加工装置，其具有： 离子源； 试样载台，其保持试样； 会聚透镜，其使从离子源发出的离子会聚成会聚离子束； 光圈，其遮挡由所述会聚透镜会聚而成的所述会聚离子束的一部分，具有用于将所述试样加工成所需的形状的至少一边呈直线状的狭缝；以及 投射透镜，其配置于所述光圈与所述试样载台之间的射束路径，使通过了所述光圈的所述会聚离子束以该光圈为光源聚焦于所述试样的规定位置， 在所述试样加工出与所述会聚离子束的照射方向平行的截面， 其特征在于， 在通过柯拉照明法使所述会聚离子束聚焦于所述投射透镜的主平面时所述会聚透镜的施加电压为规定电压的情况下，将所述会聚透镜的所述施加电压设定为小于该规定电压且为该规定电压的80％以上， 设定所述光圈的位置，以使所述光圈在如下状态下遮挡该会聚离子束，该状态是，所述光圈的所述一边距所述会聚离子束的中心的距离大于0μm且为500μm以下的状态， 所述投射透镜的施加电压被设定为使基于所述光圈的所述狭缝的像聚焦于所述试样表面的施加电压， 构成如下的转印模式：所述会聚离子束不进行扫描，而是将成形为所述狭缝的形状的所述会聚离子束一次性地照射到所述试样表面，将该狭缝的形状转印到所述试样。

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