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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利沉积处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113755810B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110516229.0，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权沉积处理设备是由李俊永设计研发完成，并于2021-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本沉积处理设备在说明书摘要公布了：提供了沉积处理设备。沉积处理设备包括装载有衬底固定装置的第一室、限定执行沉积处理的沉积处理空间的第二室以及包括将衬底固定装置从第一室传输到第二室的传输模块的第三室。衬底固定装置包括第一支承件和第二支承件，第一支承件支承至少一个衬底，第二支承件连接到第一支承件，在第一方向上与至少一个衬底的第一表面和第二表面接触，并且竖直地固定至少一个衬底以使得第三表面面对第一支承件的法线方向。第二支承件在至少一个衬底中限定包括第三表面、第一表面的与第三表面相邻的部分以及第二表面的与第三表面相邻的部分的沉积表面，并且将限定的沉积表面暴露于沉积处理空间。

本发明授权沉积处理设备在权利要求书中公布了：1.一种沉积处理设备，包括： 第一室，衬底固定装置装载到所述第一室中，其中，至少一个衬底装载在所述衬底固定装置上并且包括： 第一表面； 与所述第一表面相对的第二表面；以及 作为所述第一表面与所述第二表面之间的侧表面的第三表面； 第二室，所述第二室限定沉积处理空间，在所述沉积处理空间中，在装载在所述衬底固定装置上的所述至少一个衬底上执行沉积处理；以及 第三室，所述第三室包括将所述衬底固定装置从所述第一室传输到所述第二室的传输模块，所述衬底固定装置包括： 第一支承件，所述第一支承件支承所述至少一个衬底；以及 第二支承件，所述第二支承件连接到所述第一支承件，在第一方向上与所述至少一个衬底的所述第一表面和所述第二表面接触，并且竖直地固定所述至少一个衬底以使得所述第三表面面对所述第一支承件的法线方向， 其中，所述第二支承件在所述至少一个衬底中限定沉积表面，并且将限定的所述沉积表面暴露于所述沉积处理空间，并且 所述沉积表面包括所述第三表面、所述第一表面的与所述第三表面相邻的部分以及所述第二表面的与所述第三表面相邻的部分； 其中，所述第一支承件包括： 基础构件； 第一支承构件，所述第一支承构件布置在所述基础构件上，与所述基础构件限定所述传输模块插入的空间，并且支承所述至少一个衬底；以及 连接构件，所述连接构件将所述基础构件、所述第一支承构件和所述第二支承件彼此连接。

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