京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司史迎利获国家专利权
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龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司申请的专利MEMS开关及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115707350B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180001413.X，技术领域涉及：H01P1/15；该发明授权MEMS开关及其制作方法是由史迎利设计研发完成，并于2021-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS开关及其制作方法在说明书摘要公布了：本公开实施例涉及一种柔性MEMS开关，其中，包括MEMS主体和位于所述MEMS主体外部的封装体，所述封装体包括第一柔性盖板和第二柔性盖板，所述第一柔性盖板和所述第二柔性盖板分别罩设于所述MEMS主体的相对的两侧，且所述第一柔性盖板与所述MEMS主体之间形成第一腔体，所述第二柔性盖板与所述MEMS主体之间形成第二腔体。本公开实施例还涉及一种柔性MEMS开关的制作方法。
本发明授权MEMS开关及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种柔性MEMS开关，其中，包括MEMS主体和位于所述MEMS主体外部的封装体，所述封装体包括第一柔性盖板和第二柔性盖板，所述第一柔性盖板和所述第二柔性盖板分别罩设于所述MEMS主体的相对的两侧，且所述第一柔性盖板与所述MEMS主体之间形成第一腔体，所述第二柔性盖板与所述MEMS主体之间形成第二腔体； 所述MEMS主体包括柔性基底和位于所述柔性基底上的功能器件，所述柔性基底包括用于设置所述功能器件的第一部分，以及位于围设于所述第一部分外部的第二部分，所述第二部分为环形结构用于与所述封装体连接，所述第一部分包括面向所述第二部分的多个侧壁，所述多个侧壁中至少包括第一侧壁，所述第一侧壁沿其延伸方向的部分区域向远离所述第二部分的方向凹陷，以使得所述第一侧壁与所述第二部分的对应的部分之间具有间隙。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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