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龙图腾网获悉博鲁可斯自动化美国有限责任公司申请的专利衬底映射装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116056810B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180053513.7，技术领域涉及：B08B3/00；该发明授权衬底映射装置及其方法是由R·苏努加托夫;R·R·王;K·谢;J·格拉西亚诺;A·怀斯;C·汉森;E·帕斯托设计研发完成，并于2021-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底映射装置及其方法在说明书摘要公布了：一种半导体晶圆映射装置包括：框架，其形成与用于衬底载体的装载站相通的晶圆装载开口，所述衬底载体设置成保持竖直分布在衬底载体中的多于一个晶圆，以用于通过晶圆装载开口装载；可移动臂，其可移动地安装到框架以便相对于晶圆装载开口移动，并且具有至少一个末端执行器，所述至少一个末端执行器可移动地安装到可移动臂，以便通过晶圆装载开口从衬底载体装载晶圆；图像采集系统，其包括布置在公共支承上的相机阵列，并且每个相机相对于公共支承固定，所述公共支承相对于相机阵列的每个相机静止，其中每个相应相机定位有视场，所述视场设置成在公共支承通过可移动臂定位的情况下通过晶圆装载开口观察。

本发明授权衬底映射装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体衬底映射装置，包括： 框架，其形成与用于衬底载体的装载站相通的衬底装载开口，所述衬底载体设置成保持竖直分布在所述衬底载体中的多于一个衬底，以用于通过所述衬底装载开口装载； 可移动臂，其可移动地安装到所述框架以便相对于所述衬底装载开口移动，并且具有至少一个末端执行器，所述至少一个末端执行器可移动地安装到所述可移动臂，以便通过所述衬底装载开口从所述衬底载体装载衬底； 图像采集系统，其包括布置在公共支承上的相机阵列，并且每个相机相对于所述公共支承固定，所述公共支承相对于所述相机阵列的每个相机静止，其中每个相应相机定位有视场，所述视场设置成在所述公共支承通过所述可移动臂定位在公共位置处的情况下通过所述衬底装载开口观察所述衬底载体的具有用于保持所述多于一个衬底中的至少一个衬底的衬底槽的不同单独部分，所述不同单独部分与所述衬底载体的具有不同衬底槽的部分分离且不同，所述不同衬底槽用于保持不同于在所述公共支承位于所述公共位置处的情况下由每个其它相机观察的所述至少一个衬底的衬底，并且在所述公共支承位于所述公共位置处的情况下通过所述相机阵列对保持在所述衬底载体中的每个衬底进行成像；以及 连接到所述公共支承的照明源，其被配置以便在所述公共支承处于所述公共位置中的情况下通过所述衬底装载开口照射所述衬底载体中的每个衬底的外边缘，所述外边缘标示所述衬底的所述外边缘的上边缘边界和下边缘边界，所述照明源相对于每个相机设置，使得所述外边缘将来自所述照明源的反射的边缘照明指向每个相机，并在所述上边缘边界和所述下边缘边界处对在所述公共支承位于所述公共位置处的情况下由每个相机通过所述衬底装载开口观察的背景反射光进行光学消隐； 其中利用所述上边缘边界和所述下边缘边界以图像对比度显著地限定所述衬底的所述外边缘，所述图像对比度通过由每个相机配准的边缘反射和光学消隐的背景形成并且是在其之间形成，以在所述公共支承位于所述公共位置处的情况下对所述衬底载体中的每个衬底实行边缘检测。

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