圆益IPS股份有限公司李大成获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉圆益IPS股份有限公司申请的专利基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496722B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110935566.3，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权基板处理方法是由李大成;权玹范;朴坰设计研发完成，并于2021-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板处理方法，更详细地说，涉及改善在基板形成的薄膜的物理性质的基板处理方法。本发明的基板处理方法的一实施例包括：将基板运进第一腔室内的步骤；第一增压步骤，提高所述第一腔室内的压力，以使所述第一腔室内的压力达到高于常压的第一高压；第一降压步骤，降低所述第一腔室内的压力，以使所述第一腔室内的压力达到低于所述第一高压且在常压以上的第二高压；第一增降压反复执行步骤，将所述第一增压步骤及所述第一降压步骤反复执行预定次数；及第二降压步骤，降低所述第一腔室内的压力，以使所述第一腔室内的压力达到低于常压的第一低压。
本发明授权基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，其特征在于，包括： 将基板运进第一腔室内的步骤； 第一增压步骤，提高所述第一腔室内的压力，以使所述第一腔室内的压力达到高于常压的第一高压； 第一降压步骤，降低所述第一腔室内的压力，以使所述第一腔室内的压力达到低于所述第一高压且在常压以上的第二高压； 第一增降压反复执行步骤，将所述第一增压步骤及所述第一降压步骤反复执行预定次数；及 第二降压步骤，降低所述第一腔室内的压力，以使所述第一腔室内的压力达到低于常压的第一低压。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人圆益IPS股份有限公司，其通讯地址为：韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号