拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司林佳继获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司申请的专利一种硅片上下料系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114242633B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111354801.4,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种硅片上下料系统是由林佳继;周欢;时祥设计研发完成,并于2021-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片上下料系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种硅片上下料系统,包括导片机装置、硅片翻转装置和搬运装置,导片机装置控制硅片流转至硅片翻转装置,并控制花篮的内部流转,硅片翻转装置控制对硅片的吸取、翻转以及分合,搬运装置控制硅片在主机与硅片翻转装置间的流转,本发明采用传感器对花篮满缺料状态进行检测,实现了对硅片数量的精细控制,本发明采用对射传感器对花篮内硅片余量进行检测,同时采用朝向传感器对花篮朝向进行检测,防止花篮输送时发生反放错误,提高设备的自动化控制程度,本发明实现了硅片由导片机装置到主机的上料流程以及由主机到导片机装置的下料流程,实现了硅片循环往复的上下料过程。
本发明授权一种硅片上下料系统在权利要求书中公布了:1.一种硅片上下料系统,其特征在于:包括导片机装置、硅片翻转装置和搬运装置,导片机装置包括上料导片组件、下料导片组件以及连接上料导片组件和下料导片组件的横移输送机构,上料导片组件控制硅片上料工序,下料导片组件控制硅片下料工序,横移输送机构对上料导片组件和下料导片组件的花篮进行流转,硅片翻转装置包括硅片翻转机构、硅片横移机构以及硅片偏移机构,硅片横移机构和硅片偏移机构控制硅片翻转机构的移动,硅片翻转机构控制对硅片的吸取以及翻转,搬运装置控制硅片在主机与硅片翻转装置间的流转,硅片翻转机构包括吸取组件,吸取组件包括翻转电机和吸取构件,翻转电机和吸取构件控制硅片翻转,吸取构件设置有两组,一组吸取构件包括第一吸取板和吸盘,另一组吸取构件包括第二吸取板和吸盘,第二吸取板相对于第一吸取板发生水平翻转。
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