中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司大连石油化工研究院赵利民获国家专利权
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龙图腾网获悉中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司大连石油化工研究院申请的专利CVD金刚石膜生长装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116479399B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210037525.7，技术领域涉及：C23C16/27；该发明授权CVD金刚石膜生长装置及方法是由赵利民;张长安;王博;张舒冬;袁俊设计研发完成，并于2022-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本CVD金刚石膜生长装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种CVD金刚石膜生长装置及方法，该装置包括：反应腔，其为圆柱形空腔且沿空腔周向均匀设置多个独立控制的气体入口；该气体入口通入氢气和含碳气体的混合气，或，纯氢气；衬底，其作为金刚石膜生长基体，该基体呈扇形且为多个并环形布置；热丝阵列，其由多个热丝组件组成，热丝组件数量、形状与衬底相适配；该热丝组件固定在反应腔内所述衬底的上方；冷却单元，其上表面与衬底贴合且整体可升降和旋转，用于在膜生长过程中控制衬底的温度。本发明的装置及方法既能解决热丝积碳的问题，又能保证衬底表面的温度场和气流场的均匀，可有效改善金刚石膜的质量。
本发明授权CVD金刚石膜生长装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种CVD金刚石膜生长装置，其特征在于，包括： 反应腔，其为圆柱形空腔且沿所述空腔周向均匀设置多个独立控制的气体入口；该气体入口通入氢气和含碳气体的混合气，或，纯氢气；所述反应腔设置多于2个的偶数个分区，每个分区通过气体分布板分隔且对应一个气体入口；在冷却单元的连续旋转过程中，在一段预设时间内，某一分区和对侧分区的所述气体入口由通入氢气和含碳气体的混合气切换为通入纯氢气； 衬底，其作为金刚石膜生长基体，该基体呈扇形且为多个并环形布置； 热丝阵列，其由多个热丝组件组成，热丝组件数量、形状与所述衬底相适配；该热丝组件固定在所述反应腔内所述衬底的上方； 冷却单元，其上表面与所述衬底贴合且整体可升降和旋转，用于在膜生长过程中控制所述衬底的温度； 所述装置沉积出的金刚石膜层为依次并反复生长的晶粒大小不同的两层。
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