杰宜斯科技有限公司白承大获国家专利权
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龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115223915B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210424529.0，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权基板清洗装置是由白承大;金成烨;金南辰设计研发完成，并于2022-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板清洗装置在说明书摘要公布了：本发明的涉及基板清洗装置，该基板清洗装置的特征在于，包括：真空卡盘部，用于放置晶圆；以及超声波清洗模块，用于向晶圆喷射清洗液，向清洗液施加超声波来使清洗液发生超声波振动。
本发明授权基板清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括： 真空卡盘部，用于放置晶圆；以及 超声波清洗模块，用于向所述晶圆喷射清洗液，向清洗液施加超声波来使清洗液发生超声波振动， 所述超声波清洗模块包括超声波清洗部，所述超声波清洗部用于向所述晶圆喷射清洗液，并向所述清洗液施加超声波， 所述超声波清洗部包括： 超声波产生部，配置在清洗头部的内部，以向所述清洗液施加超声波；以及 清洗液喷射部，配置在所述清洗头部的内部，以向所述晶圆喷射所述清洗液，并且与所述超声波产生部隔开配置， 所述超声波清洗模块能够将所述清洗头部中配置所述清洗液喷射部处的下表面部部位的高度和所述清洗头部中配置所述超声波产生部处的下表面部部位的高度调整为不同高度，所述清洗液喷射部和所述超声波产生部位于与所述晶圆的表面距离不同处，所述清洗头部中配置所述超声波产生部处的下表面部的表面距离所述晶圆的表面更近。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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