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龙图腾网获悉骏一(苏州)半导体科技有限公司申请的专利半导体12寸20nm以下制程研磨液供应系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115890493B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211477513.2，技术领域涉及：B24B57/02；该发明授权半导体12寸20nm以下制程研磨液供应系统及方法是由徐彬;程一刚设计研发完成，并于2022-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体12寸20nm以下制程研磨液供应系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体12寸20nm以下制程研磨液供应系统及方法，属于自动化领域。该系统包括原料输送单元、自动混酸单元、分送阀箱、末端阀箱和过滤阀箱；所述原料输送单元、自动混酸单元、分送阀箱和末端阀箱依次连接；本发明不仅可以保证研磨液连续不间断稳定供应，还能有效防止研磨液结晶沉积。有效提高了晶圆研磨良率，显著提升了产能。另外，还可以保持研磨系统洁净度，对敏感液体进行温和的输送或制程处理，为制程提供准确、稳定和可靠的流量和压力供应。

本发明授权半导体12寸20nm以下制程研磨液供应系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体12寸20nm以下制程研磨液供应方法，其特征在于：所述供应方法基于半导体12寸20nm以下制程研磨液供应系统，该系统包括原料输送单元、自动混酸单元、分送阀箱、末端阀箱和过滤阀箱； 所述原料输送单元、自动混酸单元、分送阀箱和末端阀箱依次连接； 所述分送阀箱还与过滤阀箱连接，所述过滤阀箱与化学机械抛光CMP机台连接； 原料输送单元、自动混酸单元、分送阀箱、末端阀箱和过滤阀箱之间采用双层管连接，双层管内管为PFA管，外管为C-PVC透明管； 研磨液通过分送阀箱和过滤阀箱输送至CMP机台； 所述原料输送单元还与纯水系统、工艺冷却供水和工艺冷却回水连接，还设有排水接口； 所述自动混酸单元还与纯水系统、工艺冷却供水和工艺冷却回水连接，还设有双氧水接口； 所述分送阀箱内设有模组阀，两路进两路出，每一路出口安装有流量计，侦测出口流量；分送阀箱内设有漏液传感器； 所述末端阀箱内设有压力调整阀和压力传感器进行压力调整，末端阀箱内设有漏液传感器； 所述过滤阀箱内设有两组模组阀，两组可拆过滤器；过滤阀箱内设有漏液传感器； 所述供应方法包括以下步骤： 研磨液原料桶通过推车运至原料输送单元； 所述原料输送单元中，用抽液接头连接至原料桶，安装判空液位，用氮气将T-B气囊抽成真空，利用虹吸效应，将原料桶中的研磨液流入原料输送单元设备内部对应的管道上的T-B气囊中，T-B气囊与磁浮泵入口端相连接，使磁浮泵入口端充满研磨液；磁浮泵入口端只有充满液体时才开启；在设备内部对应的管道的最高点设置破真空装置； 侦测T-B气囊液位，至高液位，开启磁浮泵，将研磨液原料输送至自动混酸单元中；系统设置有湿氮加湿器装置，湿氮加入原料桶内，使原料桶中的湿度满足95％以上，防止研磨液结晶沉积；系统设置有工艺冷却水PCW换热器，用工艺冷却水进行热交换，使研磨液温度保持为24℃；系统设置有纯水冲洗装置，设置水枪与气枪，用来冲洗抽液接头、管道及阀门；冲洗后的废液通过气动泵，动力排放至废液收集管内集中排放，同时检测是否漏液；原液取样装置进行原液取样； 所述自动混酸单元中，研磨液原料通过原料输送单元输送至自动混酸单元，设置配方比例，气动阀开启，使研磨液进入混合槽内，流量计记录进液流量，通过混合槽底部称重传感器记录重量；加入一定量双氧水与纯水，充分搅拌与混合，开启磁浮泵，将混合好的研磨液经过过滤器和模组阀，再经过研磨液原料桶底喷流装置，回流至混合槽内，同时侦测混合液的电导率、比重及双氧水滴定仪浓度滴定；各项指标达到后，切换模组阀，使混合好的研磨液输送至分送阀箱； 设置临时原料供应系统，推车将原料桶推至自动混酸单元，连接好抽液接头，通过气动泵输送至混合槽中，设置混酸比例，进行混酸，再进行输送；在设备内部临时原料供应系统管道的最高点设置破真空装置； 混合槽为锥形，防止研磨液沉积与结晶；系统设置有湿氮加湿器装置，湿氮加入混合槽内，使混合槽中的湿度满足95％以上，防止研磨液结晶沉积；系统设置有PCW换热器，用工艺冷却水进行热交换，使研磨液温度保持为24℃；系统设置有纯水冲洗装置，设置水枪与气枪，用来冲洗混合槽、抽液接头、管道及阀门；冲洗后的废液通过气动泵，动力排放至废液收集管内集中排放，同时检测是否漏液；原液取样装置进行原液取样； 所述分送阀箱中，自动混酸单元将混配好的研磨液输送至分送阀箱，分送阀箱内安装有模组阀，两路进两路出，每一路出口安装有流量计，侦测出口流量；分送阀箱内安装有漏液传感器，若有漏液产生，发出报警； 所述末端阀箱中，每一个供液回路的分送阀箱末端安装末端阀箱，末端阀箱内安装有压力调整阀与压力传感器，进行系统压力调整；阀箱内安装有漏液传感器，若有漏液产生，发出报警； 所述过滤阀箱中，研磨液通过分送阀箱至过滤阀箱，过滤阀箱内安装有两组模组阀，两组可拆卸过滤器；阀箱内安装有漏液传感器，若有漏液产生，发出报警。

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