楚赟精工科技(上海)有限公司马法君获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利一种反射率光学测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116008234B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211625238.4，技术领域涉及：G01N21/55；该发明授权一种反射率光学测量装置是由马法君;吴怡;刘明军;刘雷;郑冬设计研发完成，并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反射率光学测量装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种反射率光学测量装置，其设置在反应腔室外部，包括：光发射模块和光探测模块；光发射模块用于发射入射探测光，光发射模块包括射出入射探测光的发光面，入射探测光为非平行光，入射探测光中的至少部分通过反应腔室上的观察口投射至反应腔室内待测对象的被测面上，并由被测面反射；光探测模块用于接收由被测面反射且通过观察口射出的出射探测光。本发明通过采用具有一发光面的光发射模块发射非平行光作为入射探测光，可以提供反射率的有效测量，因此能使光路调整变得较为简单，且测量装置可不受安装位置的过多限制，从而达到简化光路，增加可靠性的目的，可适用于对产生较大翘曲的外延片的测量，拓宽了应用场景。
本发明授权一种反射率光学测量装置在权利要求书中公布了：1.一种反射率光学测量装置，其特征在于，其设置在反应腔室外部，包括：光发射模块和光探测模块； 所述光发射模块用于发射入射探测光，所述光发射模块包括射出所述入射探测光的发光面，所述入射探测光为非平行光，所述入射探测光中的至少部分通过所述反应腔室上的观察口投射至所述反应腔室内待测对象的被测面上，并由所述被测面反射； 所述光探测模块用于接收由所述被测面反射且通过所述观察口射出的出射探测光； 所述发光面上每一处发射的所述入射探测光在所述发光面的法向的立体角内的强度均匀分布且各处在所述立体角内的强度分布一致；定义所述立体角在任意方向上张开的角度的一半为β，所述β大于等于所述观察口的中心在所述待测对象所在平面上的投影与所述观察口之间形成的锥体的半顶角α； 所述发光面的尺寸A与所述观察口的尺寸B之间满足： AB≥Hh 其中，H为所述发光面到所述待测对象所在平面的距离，h为所述观察口到所述待测对象所在平面的距离。
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