武汉颐光科技有限公司石雅婷获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉颐光科技有限公司申请的专利一种光学测量设备测量数据的修正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116105854B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211644217.7,技术领域涉及:G01J1/00;该发明授权一种光学测量设备测量数据的修正方法是由石雅婷;刘亚鼎;张云;郭春付;李伟奇;张传维;薛小汝;何勇设计研发完成,并于2022-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光学测量设备测量数据的修正方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种光学测量设备测量数据的修正方法,包括:获取光学测量设备中的光学器件更换前后,测量的多个样件在目标波段的测量光强数据;基于多个样件在目标波段的测量光强数据,计算出每个样件在每一帧数下目标波段的光强比值曲线、加权比值曲线以及修正比值曲线;基于修正比值曲线,对光学器件更换后的测量光强数据进行修正,得到修正后的测量光强数据。本发明通过器件更换前后的多个样件的测量光强数据,得到各个帧数下的修正比值曲线,通过修正比值曲线将器件更换后的光强数据进行修正,使修正后的数据提取的膜厚以及复折射率等与更换器件前的膜厚以及复折射率等结果一致,减少因器件更换引入未知的难以表征的误差。
本发明授权一种光学测量设备测量数据的修正方法在权利要求书中公布了:1.一种光学测量设备测量数据的修正方法,其特征在于,包括: 获取光学测量设备中的光学器件更换前后,测量的多个样件在目标波段的测量光强数据; 基于多个样件在目标波段的测量光强数据,计算出每个样件在每一帧数下目标波段的光强比值曲线,所述光强比值曲线为光学器件更换后的测量光强数据与光学器件更换前的测量光强数据之比; 对多个样件在同一帧数下目标波段的光强比值曲线进行加权处理,得到每一帧数下目标波段的加权比值曲线; 对每一帧数下目标波段的加权比值曲线进行滤波处理,得到修正比值曲线; 基于所述修正比值曲线,对光学器件更换后的测量光强数据进行修正,得到修正后的测量光强数据。
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