苏州桔云科技有限公司洪成都获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州桔云科技有限公司申请的专利切边晶圆传输装置的对中定位机构及切边晶圆传输装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116169078B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310066462.2,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权切边晶圆传输装置的对中定位机构及切边晶圆传输装置是由洪成都;任中辛设计研发完成,并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本切边晶圆传输装置的对中定位机构及切边晶圆传输装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种切边晶圆传输装置的对中定位机构及切边晶圆传输装置,包括两组挡杆组件,挡杆组件包括两个挡杆且两个挡杆之间的间距大于切边晶圆的切边的边长;两组挡杆组件的四个挡杆位于一矩形的四个拐角点;驱动组件,其包括两个驱动端,以分别与两组挡杆组件连接;其中,驱动组件用于驱动两组挡杆组件进行相向同速直线运动,当挡杆到达定位位置时,驱动组件停止驱动,且至少三个挡杆抵在切边晶圆的圆周边缘上,以对切边晶圆进行对中定位。通过设置两组挡杆组件及限定挡杆组件的两个挡杆之间的间距大于切边晶圆的切边的边长,通过两组挡杆组件的相向同速直线运动即可实现对中定位,整体结构简单且操作简便。
本发明授权切边晶圆传输装置的对中定位机构及切边晶圆传输装置在权利要求书中公布了:1.一种切边晶圆传输装置的对中定位机构,其特征在于,包括: 两组挡杆组件11,所述挡杆组件11包括两个挡杆111且所述两个挡杆111之间的间距大于切边晶圆200的切边的边长;所述两组挡杆组件11的四个所述挡杆111位于一矩形的四个拐角点; 驱动组件12,其包括两个驱动端,以分别与两组所述挡杆组件11连接; 其中,所述驱动组件12用于驱动两组所述挡杆组件11垂直传输装置的传输方向地进行相向同速直线运动,当所述挡杆111到达定位位置时,所述驱动组件12停止驱动,且至少三个所述挡杆111抵在所述切边晶圆200的圆周边缘上,以对所述切边晶圆200进行对中定位。
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