华中科技大学陈建魁获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种基板气浮平台控制方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116374550B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310203108.X,技术领域涉及:B65G43/08;该发明授权一种基板气浮平台控制方法及系统是由陈建魁;孔德义;尹周平;陈伟设计研发完成,并于2023-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板气浮平台控制方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基板气浮平台控制方法及系统,属于新型显示技术领域。本发明考虑到了对于大面积基板气浮支撑系统,需要进行精度的检测、控制和监控,才能保证基板气浮连续运行的精度。因此考虑到了利用激光位移传感器和力锤进行激励和信号采集,通过数据处理的方式得到基板的固有频率和基板底面与气浮支撑表面的垂直高度,以对气浮平台的正压、负压进行调整,对基板气浮平台的精度进行检测和控制,在连续运行过程中通过激光位移传感器对气浮平台的运行状态实时判定。如此能够保证大面积、高精度显示面板气浮连续输运的精度稳定和可测、可控、可调,尤其适用于利用喷墨打印制造高分辨率、大幅面显示器、电子元器件等。
本发明授权一种基板气浮平台控制方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基板气浮平台控制方法,其特征在于,包括以下步骤: S1,在基板上选择若干激励点和响应点,通过外力顺序激励各激励点,采集各响应点的位移数据,并拟合得到对应的脉冲响应函数; S2,对所述脉冲响应函数进行傅里叶变换得到频响函数,进一步计算得到基板的固有频率; S3,测量各激励点处基板底面与气浮支撑表面的垂直高度; S4,通过比较S2计算的固有频率与标准固有频率,调整气浮支撑的负压;通过比较S3测量的垂直高度与标准垂直高度,调整气浮支撑的正压; S5,对连续运行中的基板底面与气浮支撑表面的垂直高度进行测量,若与标准垂直高度的偏差超过阈值,则跳转至S1。
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