长鑫存储技术有限公司韩超获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利机台参数调控方法、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116339145B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310304847.8，技术领域涉及：G05B13/04；该发明授权机台参数调控方法、设备及存储介质是由韩超;王娟设计研发完成，并于2023-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本机台参数调控方法、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本公开提供一种机台参数调控方法、装置、设备及存储介质，属于半导体制造技术领域。该方法包括：获得当前批晶圆在在先机台的当前晶圆状况因素数据和当前批晶圆达到当前机台时当前机台的当前机台状况因素数据；获得当前批晶圆在当前机台制作时的n个预设机台控制参数，n为大于1的正整数；通过训练完成的机器学习模型处理当前晶圆状况因素数据、当前机台状况因素数据和n个预设机台控制参数，获得当前批晶圆的n个当前预测量测结果；根据n个当前预测量测结果和当前批晶圆的目标量测结果，从n个预设机台控制参数中确定当前批晶圆在当前机台制作时的目标机台控制参数。本公开能够提高调控效果。
本发明授权机台参数调控方法、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种机台参数调控方法，其特征在于，包括： 获得当前批晶圆在在先机台的当前晶圆状况因素数据和所述当前批晶圆达到当前机台时所述当前机台的当前机台状况因素数据； 获得所述当前批晶圆在所述当前机台制作时的n个预设机台控制参数，n为大于1的正整数； 通过训练完成的机器学习模型处理所述当前晶圆状况因素数据、所述当前机台状况因素数据和n个预设机台控制参数，获得所述当前批晶圆的n个当前预测量测结果； 根据n个当前预测量测结果和所述当前批晶圆的目标量测结果，从n个预设机台控制参数中确定所述当前批晶圆在所述当前机台制作时的目标机台控制参数。
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