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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种微泵及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116677589B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310614261.1，技术领域涉及：F04B43/04；该发明授权一种微泵及其制作方法是由王嫣然;薛春东;赵家铭;殷一帆;覃开蓉设计研发完成，并于2023-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微泵及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种微泵及其制作方法。该微泵包括泵体和外围电源系统。所述泵体包括泵体上盖和泵体下盖；泵体上盖包括芯片封装层、弹性膜、弹性膜驱动塞、磁场发生线圈等内部结构，各部分通过一体化加工方法集成在泵体上盖上；所述泵体下盖是带有内凹微通道结构的全PDMS一体化模块；泵体上下盖通过键合固定；电源系统用以产生电信号，驱动微泵执行器部分。该微泵组件少、结构简单、由全PDMS材料覆盖，可以解决目前片上微泵结构复杂、组装困难、气密性差、耐用性差、难以与其他芯片集成等问题。

本发明授权一种微泵及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种微泵，其特征在于，所述的微泵由泵体和外围电源系统组成，所述的泵体由泵体上盖与泵体下盖组成； 所述的泵体上盖是表面全部被PDMS材料覆盖的一体化组件，包括芯片封装层、弹性膜、弹性膜驱动塞、驱动塞运动腔和磁场发生线圈；其中，芯片封装层的中心设有竖向的圆柱形通孔作为驱动塞运动腔，弹性膜覆盖在通孔下表面，弹性膜下表面与芯片封装层的下表面平齐，二者之间无缝隙，泵体上盖下表面是一体化平面；磁场发生线圈由中心带通孔的圆柱形铁芯与线圈组成，线圈缠绕在圆柱形铁芯上，磁场发生线圈整体内嵌入芯片封装层中，且圆柱形铁芯的通孔与驱动塞运动腔重合；弹性膜驱动塞为圆柱体结构，位于驱动塞运动腔内，置于弹性膜的上表面，弹性膜与弹性膜驱动塞之间通过PDMS材料之间的离子键固定为一体；芯片封装层上对称设有两个竖向的微流孔，位于中心的圆柱形通孔两侧，微流孔的顶端连接导流管，分别用于液体的进入和导出； 所述的外围电源系统与磁场发生线圈的线圈连接，对磁场发生线圈供电产生变化的磁场； 所述的泵体下盖是带有内凹微通道结构的全PDMS一体化模块，其中内凹微通道结构包括微腔室、进液腔、出液腔、入口通道和出口通道；微腔室、进液腔和出液腔为顶部开口结构；泵体下盖和泵体上盖合为一体时，泵体下盖的上表面和泵体上盖的下表面通过PDMS材料之间的离子键固定为一体，微腔室顶部开口与弹性膜的下表面相对应，形成一个完整的腔室，进液腔和出液腔分别与两个微流孔的底端相对应并连通；进液腔和出液腔与微腔室之间分别通过入口通道和出口通道实现连通。

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