广东凯福电子科技有限公司张玮获国家专利权
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龙图腾网获悉广东凯福电子科技有限公司申请的专利一种直线电机高精度位移平台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116800046B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310716034.X,技术领域涉及:H02K41/02;该发明授权一种直线电机高精度位移平台是由张玮设计研发完成,并于2023-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种直线电机高精度位移平台在说明书摘要公布了:本发明公开了一种直线电机高精度位移平台,属于精密工程技术领域。一种直线电机高精度位移平台,包括:下台面,所述下台面上侧通过移动模块区连接有上台面;本发明中,通过在下台面、上台面之间的移动模块区内设置X向第一移动模块、X向第二移动模块、Y向移动模块搭配三套直线电机组件,以交叉滚柱导轨和盘面轴承一导向,一套一体式从动模块为从动,搭配三个高分辨率光栅编码器,实现了±0.3μm内的重复精度,且配合外部设备激光干涉仪的运用可以大幅度提升该位移平台的定位精度,使其能适用于科学研究、工业制造和精密仪器的制造和校准。
本发明授权一种直线电机高精度位移平台在权利要求书中公布了:1.一种直线电机高精度位移平台,其特征在于,包括:下台面1,所述下台面1上侧通过移动模块区7连接有上台面2,所述移动模块区7上沿同一水平面依次设置有X向第一移动模块3、X向第二移动模块4、Y向移动模块5、一体式从动模块6,所述X向第一移动模块3、X向第二移动模块4、Y向移动模块5用于驱动移动模块区7进行水平位置的精确移动; 所述X向第一移动模块3、X向第二移动模块4、Y向移动模块5上均设置有底座一31,所述底座一31上部设置有直线电机组件9、光栅编码器10,所述光栅编码器10位于直线电机组件9的侧边,所述底座一31上侧滑动连接有中间U型块32,所述中间U型块32上侧滑动连接有顶盖33,所述顶盖33上侧通过螺栓固定连接有盘面轴承一34,所述盘面轴承一34通过螺栓固定连接于上台面2的下侧,所述中间U型块32与底座一31的连接部位、顶盖33与中间U型块32的连接部位均通过设置导向装置二8实现滑动连接,且所述顶盖33、中间U型块32的滑动方向相垂直; 所述导向装置二8上设置有导轨一81、交叉滚柱82、导轨二83,所述交叉滚柱82位于导轨一81与导轨二83之间用于实现各组块间连接部位的相对滑动; 所述中间U型块32的内侧设置有预留槽12,用于对所述光栅编码器10的安装固定预留一定的空间; X向第一移动模块3、X向第二移动模块4、Y向移动模块5上对应的直线电机组件9、光栅编码器10与外部的控制系统进行电性连接,并设定好相应的控制程序,利用控制系统分别启动X向第一移动模块3、X向第二移动模块4、Y向移动模块5上的直线电机组件9,以导向装置二8上的交叉滚柱82与导轨一81、导轨二83滑动配合,结合盘面轴承一34的转动配合为导向,实现了对上台面2在水平位置上的精确移动,其中,一体式从动模块6上的盘面轴承二64及导向装置一65相配合,起到了从属配合上台面2移动的作用,搭配X向第一移动模块3、X向第二移动模块4、Y向移动模块5上的三组高分辨率光栅编码器10,在直线电机组件9受到电流时,在推力子中产生磁场,光栅编码器10测量推力子的位置和速度,它们输出的数字信号被用于控制直线电机组件9的运动,通过测量线性位置输出,能够精确测量直线电机组件9的推力位置,并在此基础上对直线电机组件9进行位置和速度反馈控制,通过这种方式,光栅编码器10和直线电机组件9的配合使用,可实现高精度、高速度、高精度的线性运动,能够实现±0.3μm重复精度,最后,操作人员还可借助使用外部设备激光干涉仪,利用激光的相干性和干涉现象来测量物体的位移精度,从而大幅度提升了该位移平台的定位精度。
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