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龙图腾网获悉杭州泽达半导体有限公司申请的专利一种基于肖特基接触检测半导体侧壁质量的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119314888B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310847112.X，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种基于肖特基接触检测半导体侧壁质量的方法是由木村有;李俊波设计研发完成，并于2023-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于肖特基接触检测半导体侧壁质量的方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体领域，公开了一种基于肖特基接触检测半导体侧壁质量的方法，包括准备至少两个基于肖特基接触的待检测部件；待检测部件包括具有凸台的半导体衬底和肖特基金属层，在各待检测部件中，位于凸台侧壁的肖特金属层的厚度相等，长度不相等；采集各个待检测部件在施加测量电压下的测量电流；测量电压至少为两个不同的电压；测量电流为流经位于凸台侧壁的肖特金属层的电流；在同一测量电压下，根据位于凸台侧壁的肖特金属层的长度、及对应的测量电流，确定目标电流；目标电流为位于凸台侧壁的肖特金属层的长度为零时的电流；根据目标电流及对应的测量电压，确定导通电压；根据导通电压评估凸台侧壁的质量。本申请可实现对侧壁的质量检测。

本发明授权一种基于肖特基接触检测半导体侧壁质量的方法在权利要求书中公布了：1.一种基于肖特基接触检测半导体侧壁质量的方法，其特征在于，包括： 准备至少两个基于肖特基接触的待检测部件；所述待检测部件包括具有凸台的半导体衬底和肖特基金属层，在各个所述待检测部件中，位于凸台侧壁的所述肖特基金属层的厚度相等，且长度不相等； 采集各个所述待检测部件在施加测量电压下的测量电流；所述测量电压至少为两个不同的电压；所述测量电流为流经位于所述凸台侧壁的所述肖特基金属层的电流； 在同一所述测量电压下，根据位于所述凸台侧壁的所述肖特基金属层的长度、以及对应的所述测量电流，确定目标电流；所述目标电流为位于所述凸台侧壁的所述肖特基金属层的长度为零时，流经所述凸台侧壁的电流； 根据所述目标电流以及对应的所述测量电压，确定导通电压； 根据所述导通电压评估所述半导体衬底上所述凸台侧壁的质量； 采集各个所述待检测部件在施加测量电压下的测量电流包括： 在位于凸台上表面的所述肖特基金属层和欧姆金属层之间施加所述测量电压； 采集所述测量电流； 根据位于所述凸台侧壁的所述肖特基金属层的长度、以及对应的所述测量电流，确定目标电流包括： 根据位于所述凸台侧壁的所述肖特基金属层的长度、以及对应的所述测量电流，确定测量电流与长度关系； 根据所述测量电流与长度关系，确定所述目标电流。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州泽达半导体有限公司，其通讯地址为：311222 浙江省杭州市钱塘区河庄街道东围路599号博潮城6幢北一层、二层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。