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龙图腾网获悉贵阳学院申请的专利MPCVD装置及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116970922B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311033360.7，技术领域涉及：C23C16/27；该发明授权MPCVD装置及其应用是由张文聪;朱铧丞设计研发完成，并于2023-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本MPCVD装置及其应用在说明书摘要公布了：本发明提供了一种MPCVD装置及其应用，涉及微波等离子体的技术领域，包括同轴线、放大同轴线、第一渐变阻抗匹配器、第二渐变阻抗匹配器、等离子体反应室、基台，以及悬放于内部的同轴内导体；放大同轴线使同轴线中的TEM模式转换到放大同轴线中形成稳定的TEM模式；第一渐变阻抗匹配器使放大同轴线中的TEM模式转换到第一渐变阻抗匹配器腔体内形成TM01模式；等离子体反应室的腔体能放大并保持TM01模式和产生TM02模式，形成混合模式使等离子体产生区域变大。本发明解决了微波等离子体区域小、能量利用率低，以及金刚石制备尺寸小的问题，达到了操作简单、适用性广，以及产生更均匀和更大面积金刚石薄膜的效果。

本发明授权MPCVD装置及其应用在权利要求书中公布了：1.一种MPCVD装置，其特征在于，包括由顺次连接的同轴线（1）、放大同轴线（2）、第一渐变阻抗匹配器（3）、第二渐变阻抗匹配器（6）以及等离子体反应室（7）构成的装置外部，以及穿过同轴线（1）、放大同轴线（2）和第一渐变阻抗匹配器（3）的同轴内导体（4）； 其中，所述同轴内导体（4）悬放于装置内部； 所述放大同轴线（2）采用阶梯结构，用以使同轴线（1）中的TEM模式转换到放大同轴线（2）中形成稳定放大的TEM模式； 所述第一渐变阻抗匹配器（3）采用渐变结构，用以将放大同轴线（2）中的TEM模式转换到第一渐变阻抗匹配器（3）腔体内形成TM01模式； 所述第一渐变阻抗匹配器（3）和所述第二渐变阻抗匹配器（6）之间设置有石英板（5），用以防止污染气体进入等离子体反应室（7）； 所述石英板（5）下为第二渐变阻抗匹配器（6），所述等离子体反应室（7）的腔室位于第二渐变阻抗匹配器（6）下侧，且TM01模式通过第二渐变阻抗匹配器（6）进行放大并产生TM02模式。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人贵阳学院，其通讯地址为：550005 贵州省贵阳市龙洞堡见龙洞路103号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。