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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利声表面波辅助掩膜电解的装置与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117139754B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311169969.7，技术领域涉及：B23H3/10；该发明授权声表面波辅助掩膜电解的装置与方法是由杜立群;杨晓臣;郭柄江;王帅;蔡小可;刘军山设计研发完成，并于2023-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本声表面波辅助掩膜电解的装置与方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种声表面波辅助掩膜电解的装置与方法，属于电解加工领域。该装置的压电陶瓷粘贴在基板上。基板具有反应槽，阳极工件布置于反应槽下方，阴极位于反应槽的上方。反应槽中的电解液由入水泵供给，并由出水泵泵出。基于该装置，打开入水泵和出水泵，进行电解液循环；通过驱动线为压电陶瓷通入兆声波信号，压电陶瓷的所产生的兆声振动以声表面波的形式在基板和阳极工件表面传播，并从阳极工件的待加工表面辐射至反应槽中的电解液；通过电源线为阳极工件和阴极接入直流电，实现阳极工件的电解加工。本发明简单可靠，能够提高掩膜电解加工的传质效果，实现金属微结构的高精度加工。

本发明授权声表面波辅助掩膜电解的装置与方法在权利要求书中公布了：1.一种声表面波辅助掩膜电解的装置，其特征在于，所述的装置包括防水盖1、软管2、入水泵3、出水泵4、电源线5、驱动线6、阴极7、阳极组件8、电解系统9、平开门10；所述的电源线5的正极与阳极组件8中的阳极工件81相连，负极与阴极7相连；入水泵3通过软管2定量地将电解液11从电解系统9中的储液槽91输送至阳极组件8中的反应槽821，出水泵4通过软管2将反应后的电解液输送回储液槽91，防水盖1遮挡住储液槽91；驱动线6接通阳极组件8中的压电陶瓷83；软管2、入水泵3、出水泵4、电源线5、驱动线6、阴极7、阳极组件8均置于电解系统9中，平开门10与电解系统9连接； 所述的阳极组件8包括阳极工件81、基板82、压电陶瓷83；所述基板82开有通孔821，该通孔821即为电化学反应的反应槽821；所述的阳极工件81、压电陶瓷83粘贴在基板82上；所述阳极工件81与电源线5的正极相连，阳极工件81的待加工表面811通过通孔821裸露于电解液11发生氧化反应，即进行电解刻蚀加工，非加工表面812具有绝缘层；所述压电陶瓷83与驱动线6相连； 通过驱动线6为压电陶瓷83通入兆声波信号，压电陶瓷83的所产生的兆声振动以声表面波的形式在基板82和阳极工件81表面传播，并从阳极工件81的待加工表面811辐射至电解液11。

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