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龙图腾网获悉准力机械股份有限公司申请的专利一种晶圆研磨设备的去真空的流体控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116967927B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311247253.4，技术领域涉及：B24B37/08；该发明授权一种晶圆研磨设备的去真空的流体控制装置是由林馨堂;林志杰;何啟成设计研发完成，并于2023-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆研磨设备的去真空的流体控制装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆研磨设备的去真空的流体控制装置，包括一线性驱动器驱动一定位座上下移动，复数根引流管分别设置在定位座，数个弹性罩分别套接各引流管，一转接座设置在一承架，数个分流器间隔配置在承架，转接座的内部形成数个中继道，各弹性罩分别与各中继道逐一形成上下对应，各中继道的另一端分别连通数根中继管，各中继管分别连通各分流器，每一个分流器分别对应连接数根输送管，据此控制流体进入晶圆研磨设备的上研磨盘及受其研磨的晶圆片之间。

本发明授权一种晶圆研磨设备的去真空的流体控制装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨设备的去真空的流体控制装置，所述晶圆研磨设备具有一上研磨盘用于研磨晶圆片的上表面，上研磨盘贯穿数个信道，各信道分别延伸至上研磨盘的顶端及底端，所述流体控制装置用于控制流体通过各通道进入上研磨盘及晶圆片之间，所述的流体是水或空气； 流体控制装置其特征在于包括： 一线性驱动器，固定设置在晶圆研磨设备；线性驱动器为气压缸或油压缸； 一定位座连接线性驱动器，且定位座位于线性驱动器及上研磨盘的顶缘侧之间，线性驱动器驱动定位座上下移动而接近或远离上研磨盘的顶缘侧： 数根引流管分别定位设置在定位座，各引流管分别连通流体的供应源，且各引流管分别向着上研磨盘的顶缘侧延伸，数个弹性罩分别套接各引流管面向顶缘侧的一端，各弹性罩分别于内部形成一锥状空间连通各引流管； 一转接座设置在一承架，承架连接上研磨盘，转接座的内部配合各引流管形成数个中继道，各中继道的一端分别延伸至转接座的顶缘，各锥状空间分别与各中继道逐一形成上下对应，各中继道的另一端分别延伸至转接座的一侧连通数根中继管； 数个分流器间隔配置在承架，各中继管分别连通各分流器，每一分流器分别对应连接数根输送管，各输送管分别连通各通道，流体通过各通道进入上研磨盘及晶圆片之间。

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