广东省科学院测试分析研究所(中国广州分析测试中心)雷永乾获国家专利权
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龙图腾网获悉广东省科学院测试分析研究所(中国广州分析测试中心)申请的专利一种微波等离子体源多模式气体切换装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117438276B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311269766.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种微波等离子体源多模式气体切换装置及方法是由雷永乾;梁维新;郭鹏然;陈宇萍;陈江韩设计研发完成，并于2023-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微波等离子体源多模式气体切换装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及微波等离子体源切换技术领域，特指一种微波等离子体源多模式气体切换装置及方法。一种微波等离子体源多模式气体切换装置，包括有气体控制装置，气体控制装置包括有至少两条气路和控制检测装置；每条气路均包括有进气口和出气口，且在进气口和出气口之间依次连接有脉冲阀和开关阀；控制检测装置包括有控制PCB，控制PCB分别与多个脉冲阀和多个开关阀相连接；每两条气路可通过连接通道相连接。本发明通过脉冲阀和开关阀组合，实现两种以上气体的比例混合、气流快速切换及流量稳定调节，且本发明在气体混合控制方面具有混合模式多，气体控制响应快，模块集成度高，扩展方便和稳定性高的特点。
本发明授权一种微波等离子体源多模式气体切换装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种微波等离子体源多模式气体切换装置，其特征在于，包括有气体控制装置，所述气体控制装置包括有至少两条气路和控制检测装置； 每条所述气路均包括有进气口和出气口，且在所述进气口和所述出气口之间设置有至少两个控制阀，至少两个所述控制阀用于控制对应的所述气路的气体流量和切换对应的所述气路的进气状态； 所述气体控制装置还包括有连接气路，所述连接气路的两端分别连通两条所述气路； 所述控制检测装置包括有控制PCB，所述控制PCB分别与多个所述控制阀相连接；至少两个所述控制阀分别为脉冲阀和开关阀； 每条所述气路依次包括有依次连通的所述进气口、所述脉冲阀、所述开关阀和所述出气口；或，每条所述气路包括有依次连通的所述进气口、所述开关阀、所述脉冲阀和所述出气口。
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