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龙图腾网获悉新亚新智能科技(南通)有限公司申请的专利一种晶圆翻转机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117316861B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311354074.0，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆翻转机构是由贺小华;龙慧梅设计研发完成，并于2023-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆翻转机构在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆技术领域，尤其是一种晶圆翻转机构，包括外壳，还包括安装在所述外壳上的控制屏、摄像头、进出装置、翻转装置以及自锁装置。该晶圆翻转机构，通过设置进出装置，在对晶圆进行翻面时，能够位于外壳的外部进行翻面，不需要在外壳内设置晶圆翻面所需要的空间，不影响机械手拿取下一块晶圆进行清洗，通过移动齿条的移动带动晶圆能够进行前后两个方向的移动，在盛放座位于外壳前方时，便于对晶圆的拿取和放置，位于外壳的后方时，便于对晶圆的翻面，从而能够自动对晶圆实现翻面动作，解决了现有的晶圆清洗完成需要对其进行翻面，通过机械手翻面，降低清洗效率的技术问题。

本发明授权一种晶圆翻转机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转机构，包括外壳1，其特征在于：还包括安装在所述外壳1上的控制屏11、摄像头12、进出装置、翻转装置以及自锁装置； 所述摄像头12固定安装在所述控制屏11的壳体外表面，所述摄像头12对夹持晶圆的机械手进行捕捉动作； 进出装置，所述进出装置设置在所述外壳1的内部，并对需要清洗的晶圆和清洗完成后的晶圆进行推送至所述外壳1的外部，所述进出装置包括用于盛放晶圆的盛放座20、驱动机构以及进出机构，所述驱动机构包括传递齿轮22，所述传递齿轮22的移动驱动不同层面的所述进出机构进行移动动作，所述进出机构包括移动块31，所述移动块31在所述传递齿轮22的转动下带动所述盛放座20进行前后水平移动动作； 翻转装置，所述翻转装置包括用于翻转的翻转齿轮51，所述翻转机构位于所述移动块31的一侧，所述翻转齿轮51的转动带动所述盛放座20进行翻面动作； 自锁装置，所述自锁装置设置在所述盛放座20的内部，并对所述盛放座20内的晶圆进行固定动作，所述自锁装置包括固定机构和锁定机构，所述固定机构包括固定块63，在对晶圆进行翻面时，所述固定块63的升起对所述盛放座20内的晶圆进行支撑固定动作，在对晶圆进行取出时，所述固定块63的下降对所述盛放座20内的晶圆解除固定动作，所述锁定机构包括磁球72以及固定槽74，所述磁球72的外表面与所述固定槽74的内壁磁性吸附后对所述固定块63进行固定动作。

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