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龙图腾网获悉深圳市路维光电股份有限公司申请的专利检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118330987B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410615602.1，技术领域涉及：G03F1/84；该发明授权检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备是由司继伟;刘玉闯;雷蒙;陈德浇;杜武兵设计研发完成，并于2024-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备在说明书摘要公布了：本申请公开了检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备，涉及精度检测领域，方法包括：选取图像显示区域的一个初始图形；以初始图形的中心位置作为原点，在图像显示区域中沿垂直于光刻机的曝光方向步进，每隔n个选取间距在图像显示区域中取出一个与初始图形相同的图形，直至完成图像显示区域的步进，获得多个重复的图形，并测量每个重复的图形的中心位置的坐标信息，得到由多个图形的坐标信息构成的第一坐标集；在掩膜版的光刻图档查找出与第一坐标集对应的第二坐标集；由第一坐标集减去第二坐标集的坐标信息，获得每隔n个选取间距的图形的偏差值；由偏差值生成数据分布图，依据数据分布图的数据分布状态，确定掩膜版图形位置精度的检测结果。

本发明授权检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种检测掩膜版图形位置精度的方法，其特征在于，方法包括： 选取掩膜版的图像显示区域的一个初始图形； 以初始图形的中心位置作为原点，在图像显示区域中沿垂直于光刻机的曝光方向步进，每隔n个选取间距在图像显示区域中取出一个与初始图形相同的图形，直至完成图像显示区域的步进，获得多个重复的图形，并测量每个重复的图形的中心位置的坐标信息，得到由多个图形的坐标信息构成的第一坐标集；其中，n为正整数，n的数值是由光刻机的扫描带宽和图像显示区域的尺寸参数确定的； 获取掩膜版的光刻图档，在光刻图档查找出与第一坐标集的坐标信息对应的第二坐标集； 由第一坐标集的坐标信息减去第二坐标集的坐标信息，获得每隔n个选取间距的图形的偏差值； 由偏差值生成数据分布图，依据数据分布图的数据分布状态，确定掩膜版图形位置精度的检测结果； 所述方法还包括： 选取m个数据点作为一个检测周期，结合检测周期的长度和图像显示区域数据点的总数量，确定出图像显示区域的检测周期的总数量；其中，m为正整数； 计算每个检测周期的平均偏差值，结合每个检测周期的平均偏差值计算出相邻两个检测周期的平均偏差值的差值； 根据差值与选取间距比值的范围，确定出掩膜版在检测周期处的图像显示区域的带状mura的风险状态；其中选取间距是指相邻两个子像素重复间距。

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