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华中科技大学安子民获国家专利权

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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种正交线光谱共焦轮廓测量传感器及抗振方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118729985B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410690228.1,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种正交线光谱共焦轮廓测量传感器及抗振方法是由安子民;刘晓军;王帅设计研发完成,并于2024-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种正交线光谱共焦轮廓测量传感器及抗振方法在说明书摘要公布了:本发明属于精密测量相关技术领域,并公开了一种正交线光谱共焦扫描轮廓测量传感器及抗振方法。该传感器包括光源模块、第一、第二方向线色散共焦成像模块,光源模块用于产生两束正交的准直线白光;两束正交的准直线白光分别进入第一、第二方向线色散共焦成像模块,以此扫描待测样品表面并成像,进而获得两个正交角度的待测样品表面轮廓;第一方向线色散共焦成像模块包括第一线色散共焦结构、第二狭缝、第一成像单元;第二方向线色散共焦成像模块包括第二线色散共焦结构、第三狭缝和第二成像单元;第二狭缝和第三狭缝的方向分别与第一狭缝中的两正交狭缝的方向相同。通过本发明,解决线扫描表面测量过程中的振动影响测量精度的问题。

本发明授权一种正交线光谱共焦轮廓测量传感器及抗振方法在权利要求书中公布了:1.一种正交线光谱共焦轮廓测量传感器,其特征在于,该传感器包括光源模块、第一方向线色散共焦成像模块和第二方向线色散共焦成像模块,其中, 所述光源模块用于产生两束正交准直线白光;两束正交的准直线白光分别进入所述第一方向线色散共焦成像模块和第二方向线色散共焦成像模块获取待测样品(7)表面正交方向的线轮廓; 所述第一方向线色散共焦成像模块包括第一线色散共焦结构、第二狭缝(11)、第一成像单元,第一线色散共焦结构接受来自所述光源模块的一束准直线白光并将其色散聚焦在待测样品(7)表面作为第二方向测量线,该第二方向测量线经待测样品(7)表面反射后回到所述第一线色散共焦结构被准直聚焦,然后经所述第二狭缝(11)进入所述第一成像单元成像形成第二方向线轮廓; 所述第二方向线色散共焦成像模块包括第二线色散共焦结构、第三狭缝(20)和第二成像单元,所述第二线色散共焦结构接受来自所述光源模块的另外一束准直线白光并将其色散聚焦在待测样品(7)表面作为与所述第二方向测量线正交的第一方向测量线,该第一方向测量线经待测样品(7)表面反射后回到所述第二线色散共焦结构被准直聚焦,经所述第三狭缝(20)进入所述第二成像单元成像形成第一方向线轮廓; 所述第二狭缝(11)和第三狭缝(20)的方向分别与所述光源模块中设置的第一狭缝(2)中的两条正交的狭缝的方向相同;所述传感器与待测样品(7)相对运动实现对待测样品(7)表面的扫描,扫描的方向与第二狭缝(11)和第三狭缝(20)的方向相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华中科技大学,其通讯地址为:430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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