深圳市中图仪器股份有限公司林树锂获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市中图仪器股份有限公司申请的专利用于获取被测物的表面形貌的探测组件的探针安装结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118896563B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410945980.6,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权用于获取被测物的表面形貌的探测组件的探针安装结构是由林树锂;崔建国;张和君设计研发完成,并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于获取被测物的表面形貌的探测组件的探针安装结构在说明书摘要公布了:本公开描述一种用于获取被测物的表面形貌的探测组件的探针安装结构,包括支承单元、以及连接于支承单元的探针单元,探针单元配置为扫描被测物的表面,支承单元配置为可绕枢轴旋转,探针单元具有第一接触部,支承单元具有第二接触部,探针单元通过第一接触部与第二接触部耦合的方式与支承单元建立可释放的机械连接。由此,提供一种能够提高更换探针单元的便捷性和安全性且能够降低探针单元因误碰撞而损坏的风险的探测组件的探针安装结构。
本发明授权用于获取被测物的表面形貌的探测组件的探针安装结构在权利要求书中公布了:1.一种用于获取被测物的表面形貌的探测组件的探针安装结构,其特征在于, 所述探测组件包括支承单元、以及连接于所述支承单元的探针单元, 所述探针单元配置为扫描被测物的表面,所述支承单元配置为可绕枢轴旋转以使所述探针单元在扫描被测物的表面时绕所述枢轴往复摆动, 所述探针单元具有第一接触部,所述支承单元具有第二接触部, 所述第二接触部配置为可产生作用于所述第一接触部的第一作用力, 所述第一接触部配置为在所述第一作用力的作用下与所述第二接触部耦合并且在所述探针单元受到的第二作用力大于预设值时可相对于所述第二接触部运动,其中,所述第一作用力包括吸附力,所述第二作用力包括所述探针单元因误碰撞受到的作用力, 所述第一接触部包括第一接触面,所述第二接触部包括第二接触面,所述第一接触面在所述第一接触部与所述第二接触部耦合时与所述第二接触面贴合以使所述探针单元的姿态满足扫描被测物的要求, 所述探针单元通过所述第一接触部与所述第二接触部耦合的方式与所述支承单元建立可释放的机械连接。
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