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华侨大学孙林林获国家专利权

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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利一种研磨轮以及磨抛设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223301469U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421691020.3,技术领域涉及:B24B37/00;该实用新型一种研磨轮以及磨抛设备是由孙林林;陆静;汪坤朴;施嘉怡;麦子宏设计研发完成,并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种研磨轮以及磨抛设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种研磨轮以及磨抛设备,其中,一种研磨轮包括同轴设置的外壳、外抛轮组件以及内磨轮组件;外壳设有用于连接直线驱动装置的连接部;外抛轮组件包括相接合套筒以及环形外抛轮;内磨轮组件包括相接合的主轴以及内磨轮,主轴其中一端穿出外壳用于连接旋转驱动装置,内磨轮置于外抛轮的环形内,外抛轮与内磨轮通过键连接;研磨轮在第一工作状态时,内磨轮凸出于外抛轮,内磨轮组件通过旋转驱动装置驱动旋转,使内磨轮对晶圆进行研磨;在第二工作状态时,直线驱动装置驱动外抛轮组件下移,使外抛轮凸出于内磨轮,内磨轮组件通过旋转驱动装置驱动旋转,并通过键连接带动外抛轮组件旋转,使外抛轮对晶圆进行研磨。

本实用新型一种研磨轮以及磨抛设备在权利要求书中公布了:1.一种研磨轮,其特征在于,包括同轴设置的外壳、外抛轮组件以及内磨轮组件; 所述外壳设有用于连接直线驱动装置的连接部; 所述外抛轮组件包括套筒以及环形外抛轮,所述套筒一端与所述外壳转动连接,另一端连接所述外抛轮,所述外抛轮内侧壁设有若干连接槽; 所述内磨轮组件包括主轴以及内磨轮,所述主轴贯穿所述套筒以及所述外壳,其中一端用于连接旋转驱动装置,另一端连接所述内磨轮,所述内磨轮置于所述外抛轮的环形内,其外侧壁设有与所述连接槽相适配的连接键; 所述研磨轮构造为:所述外壳能够在直线驱动装置驱动下,带动所述外抛轮组件沿所述主轴的轴向做往复运动,在第一工作状态时,所述内磨轮凸出于所述外抛轮,所述内磨轮组件通过旋转驱动装置驱动旋转,使所述内磨轮对晶圆进行研磨;在第二工作状态时,所述外抛轮组件被驱动下移,使所述外抛轮凸出于所述内磨轮,所述内磨轮组件通过旋转驱动装置驱动旋转,并通过所述连接键与所述连接槽的配合带动所述外抛轮组件旋转,使所述外抛轮对晶圆进行研磨。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华侨大学,其通讯地址为:362000 福建省泉州市城华北路269号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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