蔚华科技股份有限公司杨耀州获国家专利权
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龙图腾网获悉蔚华科技股份有限公司申请的专利镜面反射载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223308101U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421976552.1，技术领域涉及：G01N21/55；该实用新型镜面反射载台是由杨耀州;许瑞斌;赵彦铮设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本镜面反射载台在说明书摘要公布了：一种镜面反射载台，包括一晶圆载台，该晶圆载台承载一晶圆，该晶圆具有紫外光到近红外光范围可穿透的物理特性，通过二阶及高阶三阶以上非线性光学检测该晶圆表面及内部的晶体缺陷；该晶圆载台设一镜面反射结构，该镜面反射结构朝向该晶圆的下表面；该二阶及高阶非线性光学的一入射光作用于该晶圆，产生不等于入射光波长的讯号光，该讯号光在该镜面反射结构上反射，成为不等于入射光波长的镜面反射光，分析该镜面反射光可判断晶圆的晶体是否有瑕疵。通过该镜面反射结构提高检测灵敏度。
本实用新型镜面反射载台在权利要求书中公布了：1.一种镜面反射载台，包括一晶圆载台，该晶圆载台承载一晶圆，该晶圆具有紫外光到近红外光范围可穿透的物理特性，通过二阶及高阶非线性光学检测该晶圆表面及内部的晶体缺陷； 其特征在于： 该晶圆载台设一镜面反射结构，该镜面反射结构朝向该晶圆的下表面； 该镜面反射结构设置成：该二阶及高阶非线性光学的一入射光作用于该晶圆，产生不等于入射光波长的讯号光，该讯号光在该镜面反射结构上反射，成为不等于入射光波长的镜面反射光，通过分析该镜面反射光判断晶圆的晶体是否有瑕疵。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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