买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉肇庆祥钰真空科技有限公司申请的专利一种真空镀膜机的柱弧靶装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223304531U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422160806.9，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种真空镀膜机的柱弧靶装置是由刘金文;刘昕颐;王玉凉设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空镀膜机的柱弧靶装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种真空镀膜机的柱弧靶装置，包括接电机构、磁芯机构和第一电机，接电机构包括上接电组件和下接电组件，上接电组件和下接电组件交替向管靶供电；磁芯机构包括靶芯组件、磁铁组件，靶芯组件的外圆面具有第一安装槽、第二安装槽，磁铁组件包括第一磁铁和第二磁铁，第一安装槽安装第一磁铁，第二安装槽安装第二磁铁，第一磁铁和第二磁铁用于配合产生平衡闭环磁场，平衡闭环磁场用于将管靶的表面组份朝靶芯组件的径向一侧溅射；第一电机用于带动管靶沿靶芯组件的轴心转动。本实用新型的一种真空镀膜机的柱弧靶装置，能够将管靶的表面组份定向溅射，提高镀膜效率，且能够在真空腔内同时布置不同类型的管靶，增加基片的膜层多样性。

本实用新型一种真空镀膜机的柱弧靶装置在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜机的柱弧靶装置，其特征在于，包括： 接电机构（100），包括上接电组件（190）和下接电组件（200），所述上接电组件（190）和所述下接电组件（200）分别与管靶（110）的两端电连接并用于交替向管靶（110）供电； 磁芯机构（120），位于管靶（110）内，包括靶芯组件（130）和磁铁组件（140），所述靶芯组件（130）与管靶（110）同轴设置，所述磁铁组件（140）设置在所述靶芯组件（130）的径向一侧，所述靶芯组件（130）的外圆面具有第一安装槽（150）、两个分别位于所述第一安装槽（150）两侧的第二安装槽（160），所述第一安装槽（150）与所述第二安装槽（160）的长度方向沿所述靶芯组件（130）的轴向设置，所述磁铁组件（140）包括磁极朝向相反的第一磁铁（170）和第二磁铁（180），所述第一安装槽（150）安装有所述第一磁铁（170），所述第二安装槽（160）安装有所述第二磁铁（180），所述第一磁铁（170）和所述第二磁铁（180）用于配合产生平衡闭环磁场，所述平衡闭环磁场用于将管靶（110）的表面组份朝所述靶芯组件（130）的径向一侧溅射； 第一电机（300），用于带动管靶（110）沿所述靶芯组件（130）的轴心转动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人肇庆祥钰真空科技有限公司，其通讯地址为：526000 广东省肇庆市鼎湖区苏村社区双喜山庄路口(欧可马店东侧厂房)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。