上海新微技术研发中心有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新微技术研发中心有限公司申请的专利一种刻蚀腔散热机构和刻蚀机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223308950U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422413421.9，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种刻蚀腔散热机构和刻蚀机是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀腔散热机构和刻蚀机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及刻蚀设备，特别涉及一种刻蚀腔散热机构和包括这种刻蚀腔散热机构的刻蚀机。刻蚀腔散热机构包括进气管道、喷气头和排气口。进气管道的一端连接于提供压缩空气的压缩气源，喷气头连接于进气管道的另一端，且设置于刻蚀机的壳体和刻蚀腔之间的功能空间。喷气头包括多个环形排布的出风通道，多个出风通道的出风方向均朝向刻蚀腔的盖板的中心位置。排气口设置于刻蚀机的壳体，连通刻蚀机外部和刻蚀机的功能空间，便于压缩空气经过盖板外壁后携带热量逸散，具有较高的散热效率。无需额外配备介质源和回收机构，设备成本和原料成本均较低，具有较高的实用性。
本实用新型一种刻蚀腔散热机构和刻蚀机在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀腔散热机构，其特征在于，包括： 进气管道1，连接于提供压缩空气的压缩气源； 喷气头2，连接于所述进气管道1远离所述压缩气源的一端，设置于刻蚀机的壳体和刻蚀腔之间的功能空间，所述喷气头2包括多个环形排布的出风通道211，多个所述出风通道211的方向均朝向所述刻蚀腔的盖板的中心位置； 排气口，设置于所述刻蚀机的壳体，用于连通所述刻蚀机的外部和所述刻蚀机的所述功能空间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海新微技术研发中心有限公司，其通讯地址为：201800 上海市嘉定区菊园新区胜竹路1399号2幢9层930室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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