郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种改善硅片沉积氧化膜过程正面损伤的取片手臂获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223308977U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422458367.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种改善硅片沉积氧化膜过程正面损伤的取片手臂是由吴泓明;张理想;钟佑生;黄郁璿;孙楠;冉彦芝设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善硅片沉积氧化膜过程正面损伤的取片手臂在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种改善硅片沉积氧化膜过程正面损伤的取片手臂，包括手臂本体，还包括多个位于所述手臂本体上的支撑件；所述支撑件的硬度小于待取片的硅片；所述支撑件上设有弧形台阶，用于支撑所述硅片。本申请通过优化硅片传送手臂的结构及材料，改善了300mm重掺硅片在背面氧化膜沉积过程中，取片手臂对硅片正面造成的损伤，另外可拆卸式支撑件设计，方便更换，降低了后续手臂维护成本。
本实用新型一种改善硅片沉积氧化膜过程正面损伤的取片手臂在权利要求书中公布了：1.一种改善硅片沉积氧化膜过程正面损伤的取片手臂，包括手臂本体，其特征在于，还包括多个位于所述手臂本体上的支撑件；所述支撑件的硬度小于待取片的硅片； 所述支撑件上设有弧形台阶，用于支撑所述硅片。
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