山东联超电子设备有限公司吴则春获国家专利权
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龙图腾网获悉山东联超电子设备有限公司申请的专利一种硅片清洗槽获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223300534U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422501332.X，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种硅片清洗槽是由吴则春;李绪林设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片清洗槽在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种硅片清洗槽，包括顶端开口设置的箱体，箱体的上端部设有若干个溢流孔，箱体的内侧底部设有鼓泡管，鼓泡管的一端延伸至箱体的外部，箱体的底部还设有用于硅片多层放置的支撑框架，支撑框架设于鼓泡管的外侧，箱体两侧的顶端设有喷淋装置，箱体的一侧设有液位开关，箱体的外侧底部设有快速排水阀，支撑框架包括分别固定在箱体内部两端的两个工形支架、搭设在两个工形支架上的隔离板，隔离板的表面均匀分布有若干个通孔，隔离板的上端面铺设一层硅片。本实用新型提供一种硅片清洗槽，提高了硅片的清洗质量和清洗效率，同时不会影响新装置的抗腐蚀性能。
本实用新型一种硅片清洗槽在权利要求书中公布了：1.一种硅片清洗槽，其特征在于，包括顶端开口设置的箱体（1），所述箱体（1）的上端部设有若干个溢流孔（2），所述箱体（1）的内侧底部设有鼓泡管（7），所述鼓泡管（7）的一端延伸至所述箱体（1）的外部，所述箱体（1）的底部还设有用于硅片多层放置的支撑框架（13），所述支撑框架（13）设于所述鼓泡管（7）的外侧，所述箱体（1）两侧的顶端设有喷淋装置，所述箱体（1）的一侧设有液位开关（6），所述箱体（1）的外侧底部设有快速排水阀（8）。
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