朝阳通美晶体科技有限公司;保定通美晶体制造有限责任公司李庆伟获国家专利权
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龙图腾网获悉朝阳通美晶体科技有限公司;保定通美晶体制造有限责任公司申请的专利一种清洗槽获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223300549U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422523357.X,技术领域涉及:B08B3/04;该实用新型一种清洗槽是由李庆伟;赵波;李民;古新远;房强设计研发完成,并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗槽在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种清洗槽,涉及半导体材料技术领域,包括:清洗槽本体,清洗槽本体上相对的两个侧壁上分别设置有插槽;挡板,设有两个,两个挡板分别可升降地设置在两个插槽内,挡板与插槽之间存在摩擦副,每个挡板的两端在靠近其底部边缘处均连接有两个朝向清洗槽本体方向设置的限位杆,两个限位杆在高度方向上间隔设置;杠杆,设有两个,两个杠杆分别设置在清洗槽本体上未设置插槽的两端,杠杆的中部与清洗槽本体的中部铰接,杠杆的两端分别伸入至间隔设置的两个限位杆之间。本实用新型通过可升降挡板的设置,能够降低晶片转移过程中的碎片风险,同时可避免药液喷胶发生交叉污染造成的化学缺陷的返工。
本实用新型一种清洗槽在权利要求书中公布了:1.一种清洗槽,其特征在于,包括: 清洗槽本体,所述清洗槽本体上相对的两个侧壁上分别设置有插槽; 挡板,设有两个,两个所述挡板分别可升降地设置在两个插槽内,所述挡板与所述插槽之间存在摩擦副,每个所述挡板的两端在靠近其底部边缘处均连接有两个朝向所述清洗槽本体方向设置的限位杆,两个所述限位杆在高度方向上间隔设置; 杠杆,设有两个,两个所述杠杆分别设置在所述清洗槽本体上未设置所述插槽的两端,所述杠杆的中部与所述清洗槽本体的中部铰接,所述杠杆的两端分别伸入至间隔设置的两个所述限位杆之间; 其中,当所述杠杆处于水平状态时,两个所述挡板均部分超出所述清洗槽本体上边缘对所述清洗槽本体形成阻挡,防止所述清洗槽本体内的药液喷溅至与所述清洗槽本体相邻的溢流槽内;当需要对所述清洗槽本体内的晶片转移至与其相邻的溢流槽内时,将所述清洗槽本体需要转移晶片对应侧的挡板下压降低所述挡板伸出清洗槽本体的高度,便于将清洗槽本体内的晶片转移至相邻溢流槽内。
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