弘塑科技股份有限公司吴宗恩获国家专利权
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龙图腾网获悉弘塑科技股份有限公司申请的专利晶圆框治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223308959U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422632987.0，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型晶圆框治具是由吴宗恩;陈建胜设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆框治具在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆框治具。晶圆框治具用于承载和固定晶圆，包括刚性框架和柔性片。所述刚性框架包括外框部和中央部。所述外框部环绕所述中央部。所述外框部为实体结构，以及所述中央部为镂空结构。所述柔性片与所述刚性框架连接并且覆盖住所述刚性框架的所述中央部。所述柔性片包括晶圆接触面。所述晶圆接触面用于与晶圆直接接触并且不具有黏性。所述晶圆放置在所述刚性框架的所述中央部的区域内。
本实用新型晶圆框治具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆框治具，用于承载和固定晶圆，其特征在于，包括： 刚性框架，包括外框部和中央部，其中所述外框部环绕所述中央部，所述外框部为实体结构，以及所述中央部为镂空结构；以及 柔性片，与所述刚性框架连接并且覆盖住所述刚性框架的所述中央部，其中所述柔性片包括晶圆接触面，所述晶圆接触面用于与晶圆直接接触并且不具有黏性，以及所述晶圆放置在所述刚性框架的所述中央部的区域内。
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