滁州学院;滁州怡然传感技术研究院有限公司范金乐获国家专利权
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龙图腾网获悉滁州学院;滁州怡然传感技术研究院有限公司申请的专利一种具有稳定气流的单斜相PdSe2化学气相沉积反应装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223304523U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422634883.3,技术领域涉及:C23C8/08;该实用新型一种具有稳定气流的单斜相PdSe2化学气相沉积反应装置是由范金乐;毕翠翠;陈在斌;高来鑫;章伟设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有稳定气流的单斜相PdSe2化学气相沉积反应装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种具有稳定气流的单斜相PdSe2化学气相沉积反应装置,涉及化学气相沉积装置技术领域,包括双温区管式炉、石英管以及法兰口,所述石英管设于双温区管式炉内,所述石英管的两端安装有法兰口,所述法兰口上连接有输送气路,所述石英管内部一侧设有刚玉舟,所述刚玉舟开口处设有表面带有孔洞的盖体,所述石英管内部另一侧设有刚玉管,所述刚玉管内设有石英舟,本实用新型通过在刚玉舟开口处设有表面带有孔洞的盖体,相较于传统瓷舟,该刚玉舟能够使硒粉在加热时均匀地从孔洞中蒸发,此设计有效控制了硒粉的蒸发速度,提高了其利用率,减少了热损失,从而提升了沉积效率。
本实用新型一种具有稳定气流的单斜相PdSe2化学气相沉积反应装置在权利要求书中公布了:1.一种具有稳定气流的单斜相PdSe2化学气相沉积反应装置,其特征在于,包括双温区管式炉1、石英管2以及法兰口4,所述石英管2设于双温区管式炉1内,所述石英管2的两端安装有法兰口4,所述法兰口4上连接有输送气路3; 所述石英管2内部一侧设有刚玉舟6,所述刚玉舟6开口处设有表面带有孔洞的盖体,所述石英管2内部另一侧设有刚玉管5,所述刚玉管5内设有石英舟7。
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