烟台睿创微纳技术股份有限公司孙传彬获国家专利权
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龙图腾网获悉烟台睿创微纳技术股份有限公司申请的专利一种半导体器件及掩模结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223304165U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422627696.2，技术领域涉及：B81B7/00；该实用新型一种半导体器件及掩模结构是由孙传彬;赵福设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体器件及掩模结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体器件及掩模结构，应用于MEMS器件技术领域。本实用新型采用T形锚柱实现读出电路晶圆和MEMS器件的电连接，对应形成该T形锚柱的接触孔结构是上宽下窄的阶梯形状，该形状的接触孔结构的开口位置不存在底切结构，更容易在接触孔结构内填充导电材料，与传统的接触孔相比填充效果更好，所以形成的T形锚柱中间位置不存在空镀现象，从而能够提高导电结构稳定性与导电性，进而能够提高产品良率；同时该T形锚柱可以通过硬掩模制备得到，保证了T形锚柱的尺寸能够满足小型化要求。
本实用新型一种半导体器件及掩模结构在权利要求书中公布了：1.一种半导体器件，其特征在于，包括：读出电路晶圆（1）、电极（2）、锚柱（13）和MEMS器件；所述MEMS器件包括传感层；所述读出电路晶圆（1）表面的读出电路和所述电极（2）电连接；所述电极（2）和所述锚柱（13）电连接；所述锚柱（13）和所述传感层电连接；所述锚柱（13）的形状呈T形。
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