深圳市骜行智能装备有限公司唐传晖获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市骜行智能装备有限公司申请的专利扩晶装置及固晶封装设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223308955U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422662070.5,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型扩晶装置及固晶封装设备是由唐传晖;程飞;郭俊军;江艳峰设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本扩晶装置及固晶封装设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种扩晶装置及固晶封装设备。扩晶装置包括晶环、工作台,工作台驱动晶环在水平面内移动;晶环包括转动式安装在工作台上的扩环固定座,蓝膜粘附在装载治具上,装载治具被放置在扩环固定座的上端位置;旋转修正单元用于驱动扩环固定座旋转实施对装载治具的角度调节;扩环压板安装在扩环固定座周围实施对装载治具边缘压合;升降单元用于实施对扩环压板的升降,以连动所述蓝膜的展开,扩环固定座上可拆式设置有定位组件,定位组件用于实施对装载治具的定位,用于实施对装载治具的定位组件可拆式安装在扩环固定座上,可根据不同尺寸的晶圆,对定位组件进行调节或更换,可兼容不同尺寸的晶圆生产使用要求,提高整个设备的适配性。
本实用新型扩晶装置及固晶封装设备在权利要求书中公布了:1.一种扩晶装置,其特征在于,包括: 晶环,用于实施对蓝膜的扩膜操作; 工作台,驱动所述晶环在水平面内移动; 所述晶环包括扩环固定座,转动式安装在所述工作台上; 装载治具,所述蓝膜粘附在所述装载治具上,所述装载治具被放置在所述扩环固定座的上端位置; 旋转修正单元,用于驱动所述扩环固定座旋转,且实施对所述装载治具的角度调节; 扩环压板,安装在所述扩环固定座周围,且实施对所述装载治具边缘压合; 升降单元,用于实施对所述扩环压板的升降,以连动所述蓝膜的展开; 其中,在所述扩环固定座上可拆式设置有定位组件,所述定位组件用于实施对所述装载治具的定位。
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