迪盛微(江苏)装备科技有限公司陈国军获国家专利权
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龙图腾网获悉迪盛微(江苏)装备科技有限公司申请的专利一种曝光装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223308546U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422653349.7,技术领域涉及:G03F9/00;该实用新型一种曝光装置是由陈国军;吴景舟;马迪设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种曝光装置,属于曝光技术领域。该曝光装置包括:工作台、多个标记灯组件、多个辅助灯组件、视觉组件、曝光组件。其中工作台包括用于放置待曝光工件的预设区域;多个标记灯组件设置在预设区域内,待曝光工件正面曝光时在待曝光工件的反面形成标记点;多个辅助灯组件均设置在预设区域之外,每一辅助灯组件与每一标记灯组件相对应,视觉组件用于识别标记灯、辅助灯及标记点,并依据三者之间的关系推测出标记点的修正位置。最后通过曝光组件依据修正后的标记点在待曝光工件的反面曝光。本实用新型的曝光装置能够在不停止曝光工作的前提下保证待曝光工件正反面曝光图案相对位置关系为一确定值,从而提高生产效率。
本实用新型一种曝光装置在权利要求书中公布了:1.一种曝光装置,其特征在于,包括: 工作台,包括用于放置待曝光工件的预设区域; 多个标记灯组件,均设置在所述预设区域内,每个所述标记灯组件包括至少一个标记灯,所述标记灯用于对所述待曝光工件进行正面曝光时在所述待曝光工件的反面形成标记点; 多个辅助灯组件,均设置在所述预设区域之外,每一所述辅助灯组件与每一所述标记灯组件相对应,每一所述辅助灯组件与相对应的所述标记灯组件临近设置,每一所述辅助灯组件包括与其对应的所述标记灯组件的每一所述标记灯相对应的辅助灯; 运动组件,可相对所述工作台运动; 视觉组件,设置在所述运动组件上,用于识别所述标记灯和所述辅助灯的位置;及 曝光组件,设置在所述运动组件上,用于对所述待曝光工件的正面和反面进行曝光。
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