成都奋羽电子科技有限公司王邱林获国家专利权
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龙图腾网获悉成都奋羽电子科技有限公司申请的专利一种大面积微波等离子体激发装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223309994U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422695842.5，技术领域涉及：H05H1/46；该实用新型一种大面积微波等离子体激发装置是由王邱林;吉皓设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大面积微波等离子体激发装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及等离子激发技术领域，具体公开了一种大面积微波等离子体激发装置，包括设置有气体出口和气体入口的激发腔、安装在激发腔内的激发件、与激发件两端连接分别连接的微波源、以及与气体入口连通的气体供应系统；所述激发件包括外玻璃管、同轴套装在外玻璃管内且形成环形腔室的内玻璃管、安装在腔室内且同轴套装在内玻璃管外侧的非均匀线圈、以及同轴套装在内玻璃管内且两端穿过激发腔与微波源连接的金属棒。本实用新型通过在内玻璃管的外侧套装非均匀线圈，有效的实现了激发腔内电磁场的均匀分布，从而实现微波等离子体的稳定产生和维持，提高等离子体装置的均匀性。
本实用新型一种大面积微波等离子体激发装置在权利要求书中公布了：1.一种大面积微波等离子体激发装置，其特征在于，包括设置有气体出口和气体入口的激发腔、安装在激发腔内的激发件、与激发件两端连接分别连接的微波源、以及与气体入口连通的气体供应系统； 所述激发件包括外玻璃管、同轴套装在外玻璃管内且形成环形腔室的内玻璃管、安装在腔室内且同轴套装在内玻璃管外侧的非均匀线圈、以及同轴套装在内玻璃管内且两端穿过激发腔与微波源连接的金属棒。
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